铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体及其制备方法与应用 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN103130493A

(43)申请公布日2013.06.05

(21)申请号CN201110455651.6

(22)申请日2011.12.27

(71)申请人财团法人工业技术研究院

地址中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号

(72)发明人周力行周育贤杨智超

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人徐金国

(51)Int.CI

C04B35/01

C04B35/626

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体及其

制备方法与应用

(57)摘要

本发明提供一种铟镓锌氧化物

(IGZO)纳米粉体，包括：InGaZnO

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，包括：

一InGaZnOsub4/sub晶体结构以及一微量元素，其中该InGaZnOsub4/sub

晶体结构如式(I)所示：

x(Insub2/subOsub3/sub)-y(Gasub2/subOsub3/sub)-z(ZnO)(I)

其中，x∶y∶z＝1∶1∶0.5-2，以及该微量元素包括硼和/或铝，含量介于

约100-1000ppm。

2.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其纯度大于约

99％。

3.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其为一单相的

InGaZnOsub4/sub晶体结构。

4.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体，其中不含

ZnGasub2/subOsub4/sub尖晶石相。

5.如权利要求1所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的平均粒径约小

于100nm，径长比约等于1。

6.一种溅镀用靶材，由权利要求1至5中任一项所述的铟镓锌氧化物

(IGZO)纳米粉体，经均压成形及烧结处理而得。

7.一种铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，包括：

将一铟金属化合物、一镓金属化合物及一锌金属化合物溶于一溶剂中，

其中该铟金属化合物、该镓金属化合物及该锌金属化合物中铟∶镓∶锌的摩

尔比为2∶2∶1～1∶1∶1；

加入一微量元素及一沉淀剂以产生一沉淀物，其中该微量元素包括硼和/

或铝，含量介于约100-1000ppm；以及

以700-1400℃烧结该沉淀物以形成一含铟镓锌氧化物纳米粉体。

8.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其

中在烧结该沉淀物之前还包括清洗并分离该沉淀物。

9.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，其

中该铟金属化合物包括硝酸铟、硫酸铟、亚硫酸铟、磷酸铟、次磷酸铟，该

镓金属化合物包括硝酸镓、硫酸镓、亚硫酸镓、磷酸镓、次磷

酸镓，以及该锌金属化合物包括硝

酸锌、硫酸锌、亚硫酸锌、磷酸锌、次磷酸锌、或上述的混合。

10.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，

其中该沉淀剂包括氨水、氢氧化钠、氢氧化钾或上述的组合。

11.如权利要求7所述的铟镓锌氧化物(IGZO)纳米粉体的制备方法，

其中该高温烧结温度介于约800-1200℃。

12.如权利要求