半导体行业跟踪报告之二十一：海晨股份携手盟立，重点布局AMHS市场.docx

目 录

TOC\o1-2\h\z\u1、AMHS行业空间广阔且国产化率极低 4

AMHS是晶圆厂“物流大动脉” 4

AMHS技术难点和发展趋势 6

AMHS全球市场空间巨大，日本大福和村田寡头竞争 7

盟立是中国地区的领导厂商之一 9

2、海晨股份：物流服务提供商积极布局半导体AMHS业务 11

收购昆山盟立布局AMHS市场 11

海盟科技AMHS设备入场欣福半导体 12

海晨股份物流主业持续成长 12

3、投资建议 15

4、风险分析 16

图目录

图1：AMHS系统 4

图2：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线 5

图3：大福自动搬送设备（苏州）有限公司演示线 5

图4：合肥欣奕华MCS软件界面 6

图5：合肥欣奕华AMHS 7

图6：2022年全球不同产品类型半导体加工用AMHS市场份额 8

图7：2028年全球不同产品类型半导体加工用AMHS市场份额 8

图8：盟立战略布局 9

图9：盟立半导体智能工厂自动化解决方案 10

图10：盟立半导体智能工厂自动化解决方案 10

图11：昆山盟立2022年和2023年1-6月主要财务数据（单位：人民币万元） 11

图12：欣福半导体科技（合肥）有限公司在合肥举行了首台自动化设备入场仪式 12

图13：海晨股份物流业务 13

图14：海晨股份2019年-2024年前三季度营收及同比增速 13

图15：海晨股份2019年-2024年前三季度归母净利润及同比增速 13

表目录

表1：全球不同产品类型半导体加工用AMHS销售额增长趋势2017VS2022VS2028（单位：百万美元） 8

表2：半导体设备及零部件相关行业重点公司2022-2026年归母净利润及PE估值 15

图1：AMHS系统

1、AMHS行业空间广阔且国产化率极低

AMHS是晶圆厂“物流大动脉”

AMHS应用趋于广泛。全球数字化进程的加速，带来芯片需求量持续攀升，这使得半导体行业的重要性日益凸显。作为制造业中的尖端领域，半导体行业在生产设备的精度和速度、工艺复杂性以及工厂智能化管理等方面展现出其先进性。随着半导体生产技术的提升与生产规模的扩大，在洁净环境中使用的自动物料搬运

系统（AutomaticMaterialHandlingSystem，简称AMHS），以其自动化、高效率、高稳定性、智能化等优势，得到越来越广泛的应用。

长期以来，洁净物流系统市场主要由日韩企业垄断。随着中美贸易摩擦加剧，产业链供应链安全性越来越受到重视，近年来中国加大半导体产业投资，并提倡关键设备的自主开发，AMHS系统作为半导体设备的一部分，国产化发展也在提速。

AMHS系统构成与关键设备。AMHS系统由多种硬件设备（存储单元+搬运单元）和控制软件组成，可以大幅减少在制品的等待时间，缩短晶圆产品的生产周期，

是提高半导体制造良率和设备利用率的重要支撑。特别是在12英寸（直径约300mm）晶圆厂，跨区域不同机台之间的搬运更为复杂，AMHS系统作为贯穿整厂的“物流大动脉”，已逐渐成为“标配”。

资料来源：搜狐，UDE显博会，

硬件设备

硬件主要分为：（1）搬运设备，包括OHT、AGV/AMR、Lifter等；（2）存储设备，如Stocker。

洁净存储库Stoker（STK）：作为半导体产线上的中转与缓存机构，用于对FOUP（前开式晶圆传送盒）、SMIFPod等多种规格的晶圆载具进行自动存储、提取与搬运，以实现晶圆在不同工艺之间的流转，具备多层存放空间，可以

提高储存密度，减少占用面积，缩短出库时间，提高传送效率。根据实际需要，

Stocker可以通过不同的设置，与OHT系统、AGV等协调操作，或者便于操作人员手动存取所需物料。

空中走行式无人搬送车OHT：OHT（OverheadHoistTransport）也称为“天车”，是AMHS最关键设备之一。OHT安装在天花板下方，在空中轨道上行走，将传输物在需要长距离和大量传输的区域进行搬运；通过皮带驱动的起重

机构，OHT可以“直接”进入存储设备或加工设备的装卸口搬送FOUP，能够有效利用空间，提高生产效率。OHT系统是12寸晶圆厂的主要产线输送系统，用于工艺区域的内部运输，以及工艺区域或工厂间的运输。

空中走行式穿梭车OHS：OHS（OverHeadShuttle）是一种自动高架运输系统，穿梭车在高架轨道上行驶至运输载体。因为它主要用于在分配的存储设施之间运输载体，也被称为“跨湾运输系统”。

轨道式导引机器人RGV：RGV又称轨道穿