板式PECVD-SiNxHy成膜工艺的COMSOL仿真和优化.docx

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2024-11-05 发布于广东
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板式PECVD-SiNxHy成膜工艺的COMSOL仿真和优化

摘要：采用等离子增强化学气相沉积法（PECVD）沉积光伏电池的减反膜、钝化膜是一种极为有效的手段。微波放电等离子体成膜过程对于薄膜的性质及均匀性的影响引起了广泛的关注。PECVD-SiNxHy成膜工艺过程复杂，反应腔室内常涉及多物理场耦合并存在一系列化学反应过程。本文研究基于有限元法，采用COMSOLMultiphysics仿真平台构建并简化板式PECVD腔室二维仿真模型，构建板式PECVD腔室非结构性网格，并对等离子场、热流场及化学反应场进行子系统边界层的设置及多物理场耦合的设置。基于硅烷与氨气等主要反应