基于互锁一体式微纳米柱阵列的柔性压力传感器及其应用.pdf

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摘要

摘要

柔性压力传感器具有压力感知、高度柔性、低成本以及便于集成等特点,因

而成为可穿戴器件中不可或缺的一部分,在健康医疗、人机交互和物联网等领域

有广阔的应用前景。其中压阻式压力传感器由于其结构简单、加工简便、信号容

易转换与读出的特点,引起了国内外研究者的广泛关注。在柔性压力传感器中,

传感材料的微结构设计很大程度上决定了活性层的比表面积、可形变空间和形变

能力等特性,进而对器件的传感性能有重要影响。本文提出一种基

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