洁净室和相关受控环境.pdf

ISO14644-1:2015(E)

国际标准IS。”“4-1

第二版

2015年12月15日

洁净室和相关受控环境

第一部分：根据粒子浓度划分空气洁净度等级

内容：

前育

简介

1范闸

2参考标准

3术语和定义

3.1通则

3.2尘埃粒子

3.3占用状态

3.4测试仪器（见附件的

3.5仪器标准

4分级

4.1占用状态

4.2粒子粒径

4.31$0等级序数

4.4命名

4.5十进制的洁净度中间等级和粒径阀值

5相符性认证

5.1原则

5.2测试

5.3尘埃粒子浓度评估

5.4测试报告

附件A（标准）根据粒子浓度对空气洁净度进行分级的基准方法

附件B（资料〉分级计算举例

附件c（资料〉尘埃粒子计数和粒径

附件D（资料〉顺序采样法

附件E（资料〉十进制的洁净度中间等级和粒径阑值的标准

附件F（资料）测试仪器

参考文献

ISO14644-1:2015(E)

前言

ISO为全球各国标准化团体（ISO会员团体〉的联合会。英国际标准工作一般是由ISO各

技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣，均有权作为此技术委员

会的代表．任何与ISO保持联系的国际组织，无论是政府的还是非政府的组织，同样可参

加此项工作.ISO与国际电气技术委员会（IEC）在电气技术标准化方面进行紧密合作。

ISO/IEC法令第1部分描述了用来制订此文件的规程和后期修订。特别应注意的是不同

类型ISO文件需要不同经批准的标准。此文件的修订与ISO/IEC法令第2部分的编辑规则一

致。（见，www.iso.orl:!/directives)

需注意的是此文件的一些内容可能受专利权保护。ISO不对其中单个或所有专利权的辨

别负责。在制订文件过程中，任何专利权细节的辨别将会在简介和／戚ISO专利声明清单里

出现。〈且~www.iso.orQ/oaten也〉

此文件中出现的任何商标名仅仅是为了便于用户，并不构成要约．

有关一致性评估的ISO特定术语和表达的意义解释，以及IS。在贸易技术性壁垒中坚持

接近阳0原则的信息，见以下链接：Foreword-Sunnlementarvinformation

负责此文件的是ISO/TC209洁净室和相关受控环境技术委员会。

此第二版取消并代替了第一版ISO14644-1:1999，这次技术性修订是彻头彻尾的。

ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下，由下述各部分组成：

第一部分：根据粒子浓度划分空气洁净度等级

第二部分：恨据粒子浓度对有关空气洁净度的洁净室性能进行证据提供与监控

第三部分：测试方法

第四部分：设计、施工和启动

第五部分：运行

第七部分：独立设施〈空气清洁罩

、手套箱、隔离器和微环境〉

第八部分：根据化学物质浓度划分空气洁净度等级

第丸部分：根据粒子浓度划分表面洁净度等级

第十部分：根据化学物质浓度划分表面洁净度等级

另外请注意ISO14698洁净室和相关受控环境之生物性污染控制：

第一部分：总则和方法

二部分：生物性污染的评估与说明

第

ISO14644-1:2015(E)

简介

洁净室及相关受控环境保证空气和表面的污染被控制在合适的级别，以确保完成对污染

敏感的活动。以下行业的产品或工艺完整性的保护均得益于污染控制：航天、微电子、医药、

医疗器械、保健品和食品。

ISO14644本部分明确提出空气洁净度等级以空气盘中一定浓度的粒子