《GBT 42604-2023真空技术 真空计 热阴极电离真空计规范》最新解读.pptx

《GB/T42604-2023真空技术真空计热阴极电离真空计规范》最新解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;;PART;;新国标下的热阴极电离真空计介绍;栅极;;;;;PART;真空技术新标准：热阴极电离真空计;;真空技术新标准：热阴极电离真空计;测试方法;;PART;;位于阴极和收集极之间，用于控制电子束的路径，防止电子直接轰击收集极造成损坏。;;离子收集;PART;标准概述;GB/T42604标准的核心内容解读;性能测试

明确了热阴极电离真空计的主要性能参数，如测量范围、准确度、稳定性、响应时间等，并规定了相应的测试方法和评价标准。;GB/T42604标准的核心内容解读;;PART;热阴极电离真空计的性能特点;可连续读数和远距离控制;PART;真空计选型：热阴极电离式的优势;真空计选型：热阴极电离式的优势;GB/T42604-2023标准等同采用ISO国际标准ISO27894:2009，确保了热阴极电离真空计的设计、制造和测试符合国际规范，提高了产品的互操作性和可比性。;PART;操作步骤：;;热阴极电离真空计的操作与维护;;PART;;准备辅助设备

准备好真空泵及真空泵控制器，以维持稳定的真空环境，确保校准过程的顺利进行。;;逐步校准;;;PART;;;真空技术中热阴极电离真空计的应用;稳定性好;真空技术中热阴极电离真空计的应用;航空航天;PART;热阴极电离真空计的测量精度分析;;气体成分与压力范围

被测气体的种类及其压力范围对电离效率有显著影响，从而影响测量精度。;提升测量精度的方法：;热阴极电离真空计的测量精度分析;;PART;真空计新国标对行业的影响;真空计新国标对行业的影响;PART;热阴极电离真空计的安装与调试;工具准备

准备好安装所需的工具，如螺丝刀、扳手、万用表等。;;热阴极电离真空计的安装与调试;;零点与满量程校准;热阴极电离真空计的安装与调试;故障排查;PART;真空技术中电离真空计的重要性;电离真空计在使用前需要进行严格的校准和验证，以确保其测量结果的准确性。同时，定期的维护和保养也是保证其长期稳定运行的关键。;PART;GB/T42604标准下的真空计选型指南;考虑测量精度和稳定性：;GB/T42604标准下的真空计选型指南;;维护与校准：;PART;;PART;新国标对热阴极电离真空计的要求;响应时间

明确了???空计对真空度变化的响应时间要求，确保快速响应真空系统的动态变化。;新国标对热阴极电离真空计的要求;新国标对热阴极电离真空计的要求;;使用与维护：;新国标对热阴极电离真空计的要求;环境保护：;PART;真空计的稳定性与可靠性分析;;使用环境

真空计的使用环境，如温度、湿度、振动等，都可能对其稳定性产生影响，因此需在使用中注意环境控制。;;真空计的稳定性与可靠性分析;;PART;热阴极电离真空计的故障排除技巧;定期使用氦质谱检漏仪对真空系统进行全面检漏，及时发现并修复潜在漏点。;;热阴极电离真空计的故障排除技巧;;检查真空室内的部件和连接处是否存在微漏，及时采取措施进行修复。;热阴极电离真空计的故障排除技巧;检查电路连接是否稳定可靠，避免接触不良导致的电流异常。;;PART;真空技术中真空计的维护与保养;;;;;PART;GB/T42604标准解读与实践应用;标准主要内容概述：;校准与检验

提出了热阴极电离真空计的校准方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求，保障产品在使用过程中的准确性和一致性。;;GB/T42604标准解读与实践应用;;PART;热阴极电离真空计与其他类型的比较;适用范围

冷阴极电离真空计适用于中真空和低真空范围；热阴极电离真空计则适用于低真空和高真空范围，具有更广泛的适用性。;热阴极电离真空计与其他类型的比较;热阴极电离真空计与其他类型的比较;与热偶真空计的比较：;温度依赖性

热偶真空计对温度较为敏感，需进行温度补偿；热阴极电离真空计虽然也受温度影响，但相对较小。;;PART;;真空计测量原理与实际操作;;抽真空操作;真空计测量原理与实际操作;校准周期

根据真空计的使用频率和测量要求制定合理的校准周期。;;PART;新国标下真空计的性能测试方法;;;新国标下真空计的性能测试方法;;稳定性与长期漂移

长时间运行下真空计读数的稳定性及漂移情况。;;PART;;热阴极电离真空计在工业生产中的应用;;;;在离子注入工艺中，精确测量真空度以确保注入离子的精确性和均匀性。;热阴极电离真空计在工业生产中的应用;热阴极电离真空计在工业生产中的应用;;PART;小型化趋势

随着集成电路和微纳技术的进步，电离真空计的电路部分逐渐实现小型化，元器件数量减少，体积缩小，使得电离真空计整体更为轻便，便于携带和操作。这种小型化不仅降低了制造成本，