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探针与铁电材料的摩擦接触对AFM信号响应的分析.docx

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    TOC\o1-3\h\z\u摘要 I

    1绪论 1

    1.1引言 1

    1.2铁电材料简介 1

    1.2.1铁电材料性能介绍 1

    1.2.2铁电材料的发展 2

    1.2.3铁电材料的应用 2

    1.3原子力显微技术(AFM)简介 2

    1.3.1原子力显微技术(AFM)的基本原理 3

    1.3.2原子力显微技术(AFM)的工作模式 4

    1.3.3原子力显微镜的应用 5

    1.4原子力显微镜的磨损研究 6

    1.5有限元方法及COMSOLMultiphysics软件 6

    1.5.1有限元方法简介 6

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