半导体行业专题研究：国内光刻机发展道长且阻，国产突破行则将至-240925-源达信息-20页.pdfVIP

证券研究报告/行业研究

国内光刻机发展道阻且长，国产突破行则将至

——半导体行业专题研究

投资要点投资评级:看好

➢半导体行业迎来复苏，美日荷制裁推动设备国产化

分析师：吴起涤

2024年半导体行业逐步进入周期上行阶段，2025年行业有望迎来更快增长。

执业登记编号：A0190523020001

根据SEMI预测，2024/2025年全球半导体设备行业市场规模为983/1128亿

美元，同比+3%/+15%。2022年起美日荷陆续发布对华设备出口管制措施，wuqidi@

半导体设备国产化迫在眉睫，而大陆晶圆厂有望逆势扩张带动设备资本开支。

➢光刻机是半导体设备明珠，上游零部件供应复杂且品类广泛研究助理：程治

光刻机是半导体制造中最核心的设备，光刻机的性能直接决定晶圆产线的制执业登记编号：A0190123070008

程节点和产能上限。光刻机的基本结构由激光器、照明光学模组、物镜、晶圆chengzhi@

传输模组、晶圆扫描模组和扫描刻线模组等组成。我们认为光刻机的核心器

件包括激光器、光学镜头和工作台等：1）激光器是光刻机的光源，决定了光光刻机指数与沪深300指数走势对比

刻机的套刻精度和工艺节点；2）光学镜头：保证光刻机光源可以精准成像在光刻机指数沪深300

晶圆表面，伴随光刻机技术衍进，投影物镜结构愈加复杂、尺寸增加；3）工20%

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作台：2004年ASML将双工作台推广至TX系列光刻机，光刻机产能显著提升。-10%

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➢光刻机市场阿斯麦一家独大，国产替代迫在眉睫-40%

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2023/92024/12024/52024/9

ASML在全球市场中一家独大，2023年ASML供给了全球92%的高端光刻机

（ArF、ArFi、EUV）。2023年6月30日荷兰对华管制措施落地，2000i以上资料来源：Wind，源达信息证券研究所

的光刻机型号限制出口。根据ASML公告，2024年H1对中国大陆设备销售收

1.《半导体行业研究：行业复苏拐

入为42.77亿欧元，占公司光刻机销售收入的49%，同比增长142%，凸显大点将至，国产替代加速进行》

2023.09.15

陆晶圆厂对光刻机的需求旺盛。目