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中国晶体硅电池制造设备现状调查

前言：有数据显示,2008年全球所有光伏电池和模组制造设备销售额达44亿美元;而据

中国电子专用设备工业协会统计的数据,2008年全年中国太阳能光伏设备销售收入将达到25

亿元;目前,我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳能电池片、组件的生产以及相

应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与产业链相应的检测设备、模拟器等,已

经具备成套供应能力,部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、

检测设备等开始出口;值得一提的是,硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市

场的绝对统治地位并批量出口亚洲,多线切割机已取得突破,多晶硅铸锭炉已经开始大量在国

内企业中使用;继光伏信息报2009年第49期4月刊金融危机下中国多晶硅项目大盘点专题

后,本刊又推出此次中国晶体硅电池制造设备现状调查专题,数据难免有些出入,肯切期望中

国光伏设备企业批评指正;由于时间原因,部分企业未能录入,敬请原谅

据中电四十八所提供数据显示,在10太阳能电池制造生产线设备中,国产设备已能提供

其中的8种,其中有6种扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、去磷硅玻璃PSG设备、低温

烘干炉已在国内生产线上占据主导地位,2种管式PECVD、快速烧结炉与进口设备并存但份

额正逐步增大;但是,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD仍然依赖进口;目前国

内太阳电池注流建线方案为国产和进口设备混搭,基本以国产为主;设备投资方面,一条

25MW的标准生产线需3400—6000万元;我国太阳能电池制造设备目前的技术水平如下：首

先,在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面,主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、

刻蚀机、去PSG设备等国内已经能够制造,已经达到世界先进水平,且性价比优势十分明显；

第二,国产PECVD管式的工艺结果已接近世界先进水平,这是这种设备的优势;但它的自动化

程度自动装卸片不如进口设备进口设备如德国Centrotherm公司产品,售价是国产设备的三

倍左右,平板型PECVD目前国内已有企业生产,有待进一步验证；第三,国产丝网印刷机只有

手动,与进口自动化产品的差距也是在自动装卸片机械手和自动检测手段上,全自动丝网印刷

机已有企业生产,工艺有待进一步验证；第四,高温烧结炉技术提高,开始批量在大线上使用；

第五,自动检测分拣设备目前国内已达到国际中等水平;

然而,尽管国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉,得到业界的广泛认可,

越来越多的客户从价格适中、性能良好、技术不断进步的国产设备中受益;但我们也应该看

到,国内半导体设备厂商在整体技术水平尤其是尖端技术水平上和国外厂商尚有差距;业内专

家指出,国产太阳能光伏设备的竞争力不完全在于设备的性能指标,而在于设备的性能价格比;

成本是太阳能光伏产业的终极目标,业内有句话,光伏设备没有最好的,只有最合适的;据了解,

建设一条太阳能电池生产线,70%以上的投资是用来购买设备,而国产设备的价格平均只有国

外产品的1/3—1/2,采用国产设备辅以少量进口设备,可以将建线成本降低一半以上;

图一晶体硅太阳电池生产工艺流程

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本文将从晶体硅太阳电池生产工艺流程图一中所涉及到的影响太阳能电池光电转换效率的

清洗制绒设备、扩散设备、刻蚀设备、去磷硅玻璃设备去PSG、镀减反射膜PECVD设备、

印刷电极设备、烘干烧结设备、测试分选设备等典型企业进行阐述;

清洗/制绒设备：单晶硅电池槽式基本国产,多晶硅电池连续式进口居多

当前环境下,国