表面化学分析 辉光放电质谱 操作程序 编制说明.pdf

《表面化学分析辉光放电质谱操作程序》编制说明

1.工作简况

项目的目的是将国际标准ISO/TS15338:2020（Edition2）SurfaceChemical

Analysis–GlowDischargeMassSpectrometry–Operatingprocedures（《表面化学

分析辉光放电质谱操作程序》）以等同采用的方法转换成国家标准。辉光放

电质谱法（GD-MS）在固体材料杂质含量检测方面有许多独特的优点：可分析元

素周期表中除氢以外的所有元素，且大多数元素的常规检出限在ng/g级以下；

一次可以给出多量、少量、痕量以及超痕量多元素分析结果；分析结果受基体影

响小；可以进行平均含量分析和深度分析；可以直接对固体样品进行分析，避免

了将固体转化成溶液时在溶解、稀释等过程中可能造成的玷污和灵敏度降低等缺

点。因此在高纯材料中的痕量杂质检测中具有其他方法无法比拟的优势，在材料

科学、环境科学等领域应用广泛。将该国际标准转换成国标，将有利于规范GD-MS

检测的技术和流程，并促进我国在高端材料的检测技术方面与国际接轨，有利于

消除高端材料出口易遭遇的技术壁垒或压价，这将对我国相关产业领域产生国际

影响力，形成话语权，促进国际贸易等方面都具有重要意义。

因此，全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分技术委员会于2023

年提出制定《表面化学分析辉光放电质谱操作程序》国家标准，并列入国家标

准化管理委员会颁布的2023年制修订国家标准计划，项目号Z-469。

本标准起草单位为中国科学院上海硅酸盐研究所…。标准起草人…

本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC608）提出并归口。

中国科学院上海硅酸盐研究所是国家大型科学仪器中心上海质谱中心（无

机）的依托单位，于2000年在国内率先引进了高分辨辉光放电质谱仪，开展以

先进无机材料尤其是高纯材料的成分分析为主要研究方向，并面向全社会提供分

析测试等科技服务。在本次国家标准制定计划实施过程中，主要负责标准的整体

规划、起草、征求意见、实验验证等工作。

2023年初起草单位即成立了标准起草小组，开展ISO/TS15338:2020（Edition

2）SurfaceChemicalAnalysis–GlowDischargeMassSpectrometry–Operating

procedures的翻译和本标准的起草工作。在完成文本翻译、实验室验证等工作的

基础上，于2023年10月初步完成了本标准的草案。

2.标准编制原则和标准主要内容确定依据

标准等同采用国际标准ISO/TS15338:2020（Edition2）SurfaceChemical

Analysis–GlowDischargeMassSpectrometry–Operatingprocedures（《表

面化学分析辉光放电质谱操作程序》）。本标准的编写按照GB/T1.1-2020《标

准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T1.2-2020《标

准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》

的规定起草。

标准为技术规范，是一个辉光放电质谱(GD-MS)操作和使用的指南。目前

在用的几种GD-MS系统来自不同的制造商，本文件描述了其操作程序的差异（适

用时）。

标准介绍了原理，对仪器、GD-MS的常规操作、仪器的校准、数据采集、

定量分析对进行了规范。

标准与国际标准在技术内容方面完全相同。

3.主要试验验证的分析

本标准等同采用国际标准ISO/TS15338:2020。实验室验证？？？

4.征求意见及采纳情况

标准初稿形成后，全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）表面化学

分析分技术委员会组织专家在线上进行了逐句讨论，标准起草单位根据专家意见

和建议进行了修改后形成了征求意见稿稿。

5.采用国际标准和国外先进标准情况

国际标准化组织2020年发布了ISO/TRS15338:2020（Ed2）SurfaceChemical

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