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第二节压阻式传感器半导体的压阻效应?????体型半导体应变片扩散型压阻式压力传感器压阻式加速度传感器测量桥路及温度补偿
2.2.1半体的阻效
压阻效应
2.2.2体型半体阻ll
1.结构型式及特点主要优点是灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍横向效应和机械滞后极小温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多
2.测量电路l恒压源l恒流源
2.2.3扩散型压阻式压力传感器
工作原理：四个电阻的配置位置
扩散型压阻式压力传感器特点l优点l
2.2.4压阻式加速度传感器l
2.2.5测量桥路及温度补偿ll
1.恒流源供电电桥电桥的输出电压与电阻变化成正比，与恒流源电流成正比，但与温度无关，因此测量不受温度的影响。
2.温度漂移及其补偿零漂灵敏度漂移Rp2Rs4RsRP
第2章应变式传感器应变式传感器的应用桥梁固有频率测量电路
第2章应变式传感器应变式传感器的应用
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器（测力与秤重）F=100*103NK=2mm/V柱式力传感器结构
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器（测力与秤重）各种平行双孔梁
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器（测力与秤重）各种形式梁
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器（测力与秤重）
第2章应变式传感器传感器原理及应用应变式传感器的应用（3）力传感器（测力与秤重）
第2章应变式传感器P应变式传感器的应用（3）力传感器圆形金属膜片h0.58R1R2R3R4径向应变rr0切向应变
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器??a壳体充满硅油mR1R2机座F
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（3）力传感器
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（4）压阻式传感器空气低压腔?硅膜片?硅杯高压腔测量系统P
第2章应变式传感器应变式传感器的应用（4）压阻式传感器：v；vv。
第2章应变式传感器上海卢浦大桥通车应变试验
第2章应变式传感器上海国际会议中心模型试验
第2章应变式传感器打桩船吊塔强度试验
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