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附件6

集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则

（征求意见稿）

第一条本审批原则适用于《建设项目环境影响评价分类管理

名录（2021年版）》中电子器件制造397的集成电路制造建设项目

环境影响评价文件的审批。

第二条项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划以

及相关产业结构调整、重点污染物总量控制等政策要求。

第三条项目选址应符合生态环境分区管控要求，不得位于法律

法规明令禁止建设的区域，应避开生态保护红线。鼓励新建、扩建

项目选址布局在依法合规设立的产业园区内，符合园区规划及规划

环境影响评价要求。

第四条强化节水措施，鼓励市政再生水的使用，减少新鲜水

的消耗，鼓励清洗水回用，提高水的回用率和重复利用率。

第五条鼓励采用转轮浓缩吸附燃烧装置处理硅片有机洗、光

刻、湿法去胶等工序产生的有机废气；鼓励采用多级喷淋吸收系统

处理硅片酸洗、湿法刻蚀、湿法去胶、含氰电镀等工序产生的氯化

氢、氟化物、氮氧化物、硫酸雾、磷酸雾、氰化氢等酸性废气以及

硅片碱洗、显影等工序产生的氨、胺类化合物等碱性废气；化学气

相沉积、干法刻蚀、扩散、离子注入、热氧化、干法去胶等工序产

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生的氟化物、氯气、氯化氢、硅烷、磷化氢、砷化氢等特种废气、

焊接工序产生的铅及其化合物等重金属应配置收集系统和净化处理

装置，重点关注氟化物、氯化氢、挥发性有机物、砷化氢、氯气、

硫酸雾、氰化物等特征污染物的达标排放情况。

项目排放的废气污染物应符合《大气污染物综合排放标准》

（GB16297）要求；项目工艺过程产生的氨以及污水处理站产生的

氨、硫化氢、臭气浓度等恶臭污染物排放应符合《恶臭污染物排放

标准》（GB14554）要求；涉及使用VOCs物料的，厂区内挥发性

有机物无组织排放应符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》

（GB37822）要求；锅炉烟气应符合《锅炉大气污染物排放标准》

（GB13271）要求。

第六条按照清污分流、雨污分流、分类收集、分质处理的原

则，设立完善的废水分类收集、处理、回用系统，提高水循环利用

率，减少废水外排量。生产废水优先回用，污染雨水收集处理。含

氟废水、含氨废水、有机废水、研磨废水、酸碱废水、含重金属废

水、含砷废水、划片废水等应设立完善的废水收集、处理、回用系

统。重点关注pH值、氨氮、氟化物、总氮、总砷、总磷、重金属

等特征因子的达标排放情况。鼓励含重金属废水采用化学沉淀法预

处理，含砷废水采用过滤+化学沉淀法预处理，含氟废水采用化学

沉淀法预处理，含氨废水采用吹脱法或厌氧氨氧化法预处理。

项目排放的废水污染物应符合《电子工业水污染物排放标准》

(GB39731)要求。

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第七条按照减量化、资源化、无害化的原则，妥善处理处置

固体废物。危险废物应委托有相应危废处置资质的单位进行处置。

重点关注危险废物种类识别是否遗漏、处理处置去向是否合法合

规。鼓励通过综合利用的方式实现固体废物减量化，鼓励废硫酸阶

梯使用。

危险废物和一般工业固体废物贮存和处置应符合《危险废物贮

存污染控制标准》(GB18597)、《一般工业固体废物贮存和填埋污

染控制标准》（GB18599)等相关要求。

第八条优化厂内冷却塔、风机、室外空压机等设备的平面布

置，优先选择低噪声设备和工艺，采取减振、隔声、消声等措施有

效控制噪声污染，加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪

声源管理，同时避免突发噪声扰民，厂界噪声应满足《工业企业厂

界环境噪声排放标准》（GB12348）要求。禁止在噪声敏感建筑物

区域内新建项目，位于噪声敏感建筑物集中区域的改建、扩建项

目，应强化噪声污染防治措施，进一步降低噪声影响。

第九条严格防控项目环境风险，建立完善的环境风险防控体

系，提升环境风险防控能力，确保环境风险防范和应急措施合理、

有效。针对项目可能产生的突发环境事件应制定有效的风险防范和

应急措施，提出运行期突发环境事件应急预案编制要求。化学品

库、化学品供应间等液体化学品存储区需设置事故废水收集和应急

储存设施。需计算氯气、砷化氢、磷化氢等有毒有害气体的泄露影

响范围并提出环境风险防范和应急措