主要阵列工艺彩膜成盒模组中各个二次作业回家.pptx

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2024-09-14 发布于北京
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主要阵列工艺彩膜成盒模组中各个二次作业回家.pptx

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TFTLCD的工艺介绍;一、阵列工艺的步骤名词（部分）;1.清洗;2.PVD与CVD镀膜工艺;（2）sputtering（溅射）;空腔内的气体多采用NH3，SiH4，易电离，膜会呈现在图中Wfaerholder位置。;（3）PLD（紫外光照射）;CVD工艺镀膜;;3.光刻工艺;（1）涂胶;2.曝光;4.刻蚀;5.去胶;二.彩膜工艺中的部分名词解释;;彩色滤光片;;其基本构造如下：;三.成盒工艺（cell，liquidcrystal）;;;;四.模组工艺（module）;;;看我多么诚实的笑容！！！！