石英玻璃光掩模基片项目风险评估报告.docx

石英玻璃光掩模基片项目风险评估报告

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石英玻璃光掩模基片项目风险评估报告

目录

TOC\o1-9前言 4

一、定性、定量安全评价 4

(一)、安全管理单元 4

(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 6

(三)、生产单元 7

(四)、公用工程及辅助设施单元 10

二、安全评价范围、目的及依据 14

(一)、评价范围 14

(二)、评价目的 16

(三)、评价依据 17

三、安全评价程序与评价方法 18

(一)、安全评价程序 18

(二)、划分评价单元 19

(三)、确定采用的安全评价方法 21

四、评价石英玻璃光掩模基片项