TCSTM-电子级氨水团体标准.pdf

ICS71.080.60

CCSG17

团体标准

T/CSTMXXXXX—202X

电子级氨水

ElectronicgradeAmmoniumhydroxide

（征求意见稿）

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中关村材料试验技术联盟发布

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》

的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国材料与试验标准化委员会化工材料标准化领域委员会（CSTM/FC05）提出并

归口。

电子级氨水

警示——本文件并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，

并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了电子级氨水的命名、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、

贮存和随行文件、安全。

本文件适用于以工业级液氨和超纯水为原料，经纯化制得的电子级氨水。主要用作集成电

路（半导体）、印刷电路板等制程用化学品。

CAS号：1336-21-6

分子式：NHOH

4

相对分子质量：35.05（按2022年国际相对原子质量）

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的

引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有

的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T9725—2007化学试剂电位滴定仪通则

GB/T23770—2009液体无机化工产品色度测定通用方法

GB/T9726化学试剂还原高锰酸钾物质测定通则

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB50073洁净厂房设计规范

GB/T11446.1—2013电子级水

GB/T11446.7—2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法

GB/T11446.8—2013电子级水中总有机碳的测试方法

GB18191—2008包装容器危险品包装用塑料桶

GB/T13508—2011聚乙烯吹塑容器

SJ/T11637—2016电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4分级及命名

电子级氨水分为Ⅰ级、Ⅱ级和Ⅲ级共3个等级。Ⅰ级电子级氨水标记为：UP-Ⅰ；Ⅱ级电子级

氨水标记为：UP-Ⅱ；Ⅲ级电子级氨水标记为：UP-Ⅲ。

注：UP-Ⅱ级和UP-Ⅲ级主要用于半导体常规制程及高制程面板行业，UP-Ⅰ级主要用于半导体先进制程

行业。

5技术要求

电子级氨水的技术指标应符合表1的规定。

表1电子级氨水的技术指标

指标