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高真空的获得和测量
19系04级畅日期2006年5月19日学号P
实验目的:
本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对
比两种方法的特点.
实验原理:
一.高真空的测量——电离真空规。
具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离,产生正离子和电子。电子与分
+
子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p,故产生的正离子数N正比于压强
p。规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由电子的热阴极(灯丝)、加速并收集电子的
加速极和收集离子的收集极等三部分组成。其接线图如图2.6.3-2所示,规管热阴极
F接零电位,为UK为热阴极加热电压;加速极G接正电位UC(几百伏);离子收集极接负
UCFUCG
电位(几十伏),其作用是使由阴极的电子,在加速电位的作用下,飞向极
使电子能量增加,大部分电子通过加速极G飞向圆筒型收集极C,电子轨迹如图2.6.3-3
GCG
所示,在、之间拒斥场的作用下电子,在速度减到零时,电子返转飞向,在电
GCGGC
子飞向、空间时,电子又在拒斥场作用下,直到速度为零又返向极,向、
方向飞行。电子在这种返往中与气体分子不断发生碰撞,把能量传给气体分子,使其电
GCC
离,而电子最终被加速极所收集;在、间产生的正离子被收集极接收形成离子流,
此离子流被外电路中的微安计测得。
对于一定结构的规管,当各电极电位一定时,对某种气体,在规管中电离所形成的正离
+Ie
子流I正比于电子电流和气体的压强p,即:
+
I=KIpe
其中比例常数K称为电离计的灵敏度,其意义是在单位电子电流、单位压强下所得到的离
子流,其单位为1Pa,K值多通过实验测得。在实际测量中,规定电流Ie等于常数。
对于不同气体,K值也不同,通常所指的灵敏度是对于干燥空气或氮气而言。
普通型热阴极电离规的测量范围为−1−5,超出此范围,离子流与
1.33×101.33×10Pa
压强便不再是线性关系而不能进量。
二.真空检
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