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2024年大直径硅单晶及新型半导体材料行业企业战略发展规划及建议.docx

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    大直径硅单晶及新型半导体材料行业企业战略发展规划及建议

    PAGE1

    大直径硅单晶及新型半导体材料行业企业战略发展规划及建议

    目录

    TOC\h\z30997前言 4

    2787一、大直径硅单晶及新型半导体材料项目技术工艺特点及优势 4

    15815(一)、技术方案 4

    3879(二)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目工艺技术设计方案 7

    13331二、建设规划 9

    13466(一)、产品规划 9

    30161(二)、建设规模 11

    30650三、产品方案与建设规划 12

    14208(一)、大直径硅单晶及新型半导体材料项目场地规模 12

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