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日立TM3030扫描电镜操作手册用户手册产品说明书使用说明文档安装使用手册
扫描电镜(SEM)
日立TM3030
一、基本原理
SEM:电子束从顶部的电子枪阴极发射出来,在加速电位的作用下,电子束斑经过三个电磁
透镜聚焦后汇聚成一束很细的电子探针到达试样表面。该入射束在物镜上方扫描线圈的驱动
下,在试样表面做有序的光栅扫描。
IXRF:当施加-750V的电压将二极管反偏时,其内部就会出现一个耗尽层,耗尽层内全部正
常出现的电子和空穴都被外加电场清除掉。如果一个X射线光子在耗尽层被吸收,根据X
射线光子能量的大小,就会电离出一定数量的电子-空穴
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