材料电子及中子分析技术 课件 3知识点4 电镜附件与选区衍射.pptx

;课程内容;一、附件;;2.电子束的平移和倾斜装置-照明系统中，聚光镜下方;3.消像散器－物镜和中间镜;一、附件;一、附件;二、有效相机常数与选区衍射;2.选区电子衍射;选区光阑（又称中间镜光阑）套在感兴趣的区域，分别进行成像操作或衍射操作，实现所选区域的形貌分析和结构分析。

1）成像操作使物镜精确聚焦，获得清晰形貌像。

2）选区光阑，套住被选视场，调整物镜电流，使光阑孔内的像清晰，保证了物镜的像平面与选区光栏面重合；

3）调整中间镜的励磁电流，使光阑边缘像清晰，从而使中间镜的物平面与选区光阑的平面重合，这也使选区光阑面、物镜的像平面和中间镜的物平面三者重合，进一步保证了选区的精度。

4）移去物镜光阑，调整中间镜的励磁电流，使中间镜的物平面与物镜的后焦面共面，由成像操作转变为衍射操作。电子束经中间镜和投影镜放大后，在荧光屏上将产生所选区域的电子衍射图谱，对于高档的现代电镜，也可操作“衍射”按钮自动完成。

5）需要照相时，可适当减小第二聚光镜的励磁电流，减小入射电子束的孔径角，缩小束斑尺寸，提高斑点清晰度。微区的形貌和衍射花样可存同一张底片上。