微导纳米(688147)深耕ALD用于光伏半导体，步步为营推出CVD设备.docx

目录

公司概况 4

三类薄膜沉积技术各有所长，公司产品以ALD设备为主 8

薄膜沉积技术分为PVD、CVD、ALD三类 8

ALD技术广泛适用于不同环境下的薄膜沉积 11

从光伏到半导体，从ALD到CVD 13

薄膜沉积设备是太阳能电池片制造环节的关键设备 17

薄膜沉积设备是晶圆制造三大主设备之一 21

细分应用领域众多 21

薄膜沉积设备市场规模有望持续增长 25

盈利预测与投资评级 28

风险提示 29

图表目录

图1：公司发展历程 4

图2：公司股权结构 4

图3：2019-2024Q1公司营业收入 7

图4：2019-2024Q1公司归母净利润 7

图5：2023年公司营业收入构成 8

图6：2019-2023年公司各产品毛利率及综合毛利率 8

图7：薄膜沉积设备技术分类 9

图8：PVD、CVD、ALD薄膜沉积效果示意图 10

图9：ALD技术沉积Al2O3薄膜步骤 11

图10：ALD技术沉积Al2O3薄膜示意图 12

图11：ALD技术应用领域 13

图12：TOPCon3.0工艺整线示意图 15

图13：半导体薄膜技术发展格局及公司布局 16

图14：2019-2023年公司前五大客户销售收入占比 17

图15：光伏产业链 17

图16：2019-2024H1中国光伏新增装机容量 18

图17：2019-2023年中国光伏电池片产量 18

图18：2023-2030年不同电池技术路线市场占比 19

图19：PERC电池和PE-TOPCon电池工艺流程及对应设备 20

图20：半导体产业链 22

图21：2010-2023年全球半导体销售额 22

图22：公司半导体设备细分应用领域 23

图23：不同制程下晶体管结构 23

图24：FeRAM结构示意图 24

图25：基于铟镓锌氧化物（IGZO）材料的薄膜晶体管（TFT）结构示意图 25

图26：多重曝光技术示意图 25

图27：2010-2023年全球半导体设备销售额 26

图28：2010-2023年中国大陆半导体设备销售额 26

图29：晶圆厂投资构成 26

图30：2019-2023年全球半导体薄膜沉积设备市场规模 27

表1：公司核心技术人员 5

表2：公司主要产品 5

表3：PVD、CVD、ALD技术对比及主要应用领域 10

表4：公司核心技术 13

表5：公司光伏设备具体情况 15

表6：公司主营业务成本（万元）及占比 16

表7：2022年3月末至2024年3月末公司在手订单（亿元） 17

表8：主要光伏企业N型电池产能布局 18

表9：公司光伏设备竞争对手 21

表10：公司半导体设备竞争对手 28

表11：盈利预测 29

公司概况

微导纳米前身微导有限成立于2015年。2016-2017年，公司一代机KF4000研制成功，全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域。2017-2018年，KF6000成功在通威太阳能完成量产验证，公司研发以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型。2018年，夸父（KF）系列在各大光伏头部企业产线开始量产爬坡，公司启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作。2019-2020年，公司推出祝融（ZR）系列PEALD+PECVD二合一设备并成功应用于光伏领域，半导体领域ALD镀膜设备研发成功并获得订单。2020-2022年，公司高端光伏装备获得多家重要光伏客户订单并向新型高效电池技术延伸，公司正式进军逻辑芯片、先进存储、3D-IC等镀膜制造领域。2022年12月，公司在科创板上市。2024年，公司披露《向不特定对象发行可转换公司债券的预案》，拟募集不超过11.7亿元用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目和补充流动资金。

图1：公司发展历程

数据来源：，微导纳米官网，公司公告

截至2024年6月13日，公司总股本45767.81万股。王燕清、倪亚兰、王磊组成的家族通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制公司60.18%的股份，同时王磊担任公司董事长、倪亚兰担任公司董事。王燕清、倪亚兰系夫妻关系，王磊系王燕清、倪亚兰之子，王燕清、倪亚兰、王磊系公司的实际控制人。LIWEIMIN担任公司副董事长和首席技术官，持有公司9.36%的股份；LIXIANG担任公司董事和副总经理，持有公司4.4%的股份；胡彬担任公司副总经理，持有公司2.75%的股份；潘景伟担任公司监事会主席，持有公司1.97%的股