防微振工程完整版本.docxVIP

防微振工程

项目防微振情况

本项目微振基台数量

栋号

VC-A

VC-B

VC-C

VC-D

生产车间

76

24

26

4

本项目微振基本要求

Equipment

EquipmentID

总数量(20K)

一期数量

(10K)

Mini-line

区域

重量(Kg)

防震要求

BE-manualprober(FA)

E002

2

1

1

LAB

0

1GAL，比VC-A要求低，不需要单独平台

BE-coater

E008

1

1

1

PHOTO

2640

承重1m21000kg

BE-developer

E009

2

1

1

PHOTO

2640

承重1m21000kg

FE_BE-Aligner

E010

3

2

1

PHOTO

1000

VC-B

FE-prober

E014

9

5

4

TEST(F)

800

1GAL，比VC-A要求低，不需要单独平台

FE-coater

E015

3

1

1

PHOTO

2640

没有特殊要求，承重1m21000kg

FE-developer

E016

3

1

1

PHOTO

2640

没有特殊要求，承重1m21000kg

FE-CD-SEM

E017

1

1

1

PHOTO

2000

VC-D，typeC

FE-metallift-off

E021

3

2

1

WET

3000

没有特殊要求，承重1m21000kg

FE-scanner

E022

2

1

1

PHOTO

9800

VC-C,typeC

FE-track-in-line

E023

2

1

1

PHOTO

5080

VC-BortypeB

FE-lasermarking

E024

1

1

1

WET

700

没有特殊要求，300x300x8mm钢板

FE-dielectricthicknessmeasurement

E025

2

1

1

量测

2400

VC-C,typeC

FE-overlay

E026

1

1

1

PHOTO

742

VC-C,typeC

FE-scrubber

E027

3

1

1

WET

3800

没有特殊要求，承重1m21000kg

BE-backgrinder

E040

4

2

1

BGDicing

4500

1GAL，比VC-A要求低，不需要单独平台

BE-Dicing

E043

25

13

4

BGDicing

1100

1GAL，比VC-A要求低，不需要单独平台

BE-Sheartester

E048

2

1

1

ET(B)

240

VC-B

FE_BE-sorter

E053

5

3

1

公用

700

没有特殊要求，300x300x8mm钢板

FE_BE-AOI

E055

7

4

2

量测

2232

VC-C

BE-台阶仪

E057

1

1

1

量测

47

VC-B

FE-XRF

E058

1

1

1

量测

1640

VC-B,TypeC

FE_BE_FIB

E062

1

1

1

LAB

1000

VC-D

BE-Scrubber-optional

E071

/

/

/

/

/

没有特殊要求，承重1m21000kg

2、防微振工程-设计、施工流程

防微振工程的勘察、设计、施工及安装程序

1、确认精密设备及仪器的容许振动标准

2、场地工程地质、水文地质勘察及地基动力特性测试

3、场地环境振动测试及分析

4、场地综合评估及场地选址

5、防微振工程设计方案论证

6、防微振工程设计

7、防微振工程施工及安装

8、工程主体建筑竣工，各类设备尚未安装时的建筑结构动力测试及分析

9、动力设备试运行时的环境振动测试及分析

10、试生产时的环境振动测试及分析

11、防微振工程验收

12、微振动测试和分析

微振动验算应分阶段进行

1、环境振动

2、动力及工艺设备振动

防微振工程设计应包括下列内容：

1、建筑结构的防微振设计；

2、动力设备及管道的隔振设计；

3、精密设备及仪器的隔振设计。

动力隔振设置要求

1、安装于地面及地下室的动力设备，可采用钢筋混凝土台板或型钢台板。

2、安装于楼层及屋面的动力设备，宜采用型钢台板，对于集中安装的动力设备，宜采用浮板隔振方式。

3、与声学实验室相关的动力设备，宜采用钢筋混凝土台板，且台板质量与设备质量之比宜大于3。

管道隔振设置要求

1、水平管道宜采用悬挂式，竖向管道宜采用支撑式。

2、管道穿墙宜采用支撑式。

3、管道与动力设备应采用柔性连接

4、隔振器应按隔振要求、管道荷载和相关专业的规定布置

3、防微振工程-隔振方式

3.1、管道防微振措施

管道隔振：在不超过3m/s的水管流速下，生产车间内水管隔振应遵从下表

支撑类型

支持位置

备注

1

2

3

4

无需隔振

管径≤100mm

管径≤250mm

管径≤300m