常见透射电镜的衍衬像分析.pdfVIP

常见透射电镜衍衬像分析

Jenny

2012年11月16日

电子像的衍射衬度

v电子像的衬度(contrast)—样品的两个相邻部分的电子束强度差。

质厚衬度质量厚度差异造成的透射束强度的差异而形成的衬度。

振幅衬度

衍射衬度不同区域满足布拉格条件的衬度不同以及结构振幅

不同而产生的衬度。

相位衬度电子束在试样出口表面上相位不一致，使相位差转换

成强度差而形成的衬度。

样品厚度与衍衬像及衍射花样的关系

相位衬度

•HRTEM

•Zcontrastimage

•STEM

10nm

TEM

样品厚度衍射衬度

适合观察•明场相

菊池线100~15020~500•暗场相

nm

TEM样品质量决定着最终的成像质量和微区分析的深入与否。

成像模式和衍射模式的工作原理

成像模式衍射模式

拍摄前需所做准备工作

ª了解TEM电镜基本构造

JEOL-2010SJTU

ª电镜合轴

操作的一般步骤依次为：电

子枪合轴调整、聚光镜合轴

调整、聚光镜消像散、电镜

电压中心调整、物镜消像散、

中间镜消像散及投影镜合轴。

J通常电镜工程师会定期对电镜进行合轴等精确调整，建立了专家系统，若电镜

光路偏离很大，可调出专家的初始设置，在这基础上进行微调。

电镜下的视场和注意事项

等倾和等厚条纹

等厚条纹等倾条纹

明场像和暗场像示意图

明场像示意图一般暗场像示意图中心暗场像示意图

弱束暗场像严格地讲也是属于中心暗场像，所不同的是：中心暗场像是在双光束条件下用g:-g的成像条件

成像；而弱束暗场像是在双光束的条件下用g:3g的成像条件成像。弱束暗场像主要用于显示缺陷，比如位

错像，位错像的分辨率会更高。

明场像和暗场像举例

[011