单晶炉拆装炉具体操作步骤.pdfVIP

各环节操作要求

一、开炉

拆炉前要先关闭氩气开度，关闭氩气开关V3，将炉内抽到极限压

力。查看单晶位臵，将单晶升到副室内。取开炉用品（石墨件车，单

晶车，石棉手套，坩埚盆等）。炉内真空达到极限后（正常应该抽到

5Pa以下），进行热检，关闭主泵开度归零后关闭主泵电源。等炉压

稳定后进行检漏，压差为3min＜1pa。即为合格，进行开炉。打开V1

氩气，将炉内充到常压。当炉内达到常压后，关闭翻板阀，将副室升

起，打开单晶托盘，缓慢将副室旋至炉旁，将单晶扶稳，挪开托盘，

将单晶降到单晶车上后打开翻板阀。

※注意事项：“降单晶时注意要保持单晶平稳，防止单晶在未降到

底部时卡到单晶车的横称上。当单晶降稳后，一人扶住单晶，一人剪

断籽晶，同时用力攥住重锤上方钢丝绳，缓慢释放扭力，防止钢丝绳

散花打结出现硬弯。将单晶车放稳，将籽晶降下，检查籽晶、石墨夹

头、白钢重锤连接件和钢丝绳变色情况。检查完毕后，将籽晶升回副

室。升起炉盖，取出石墨件。取炉内石墨件时注意佩戴好劳工工具，

避免造成烫伤。石墨件必须轻拿轻放，石墨件车上必须放臵好洁净的

隔热布。将石墨件取出后，连同单晶、锅底料一同放到库房内，进行

冷却。

二、淸炉

打开主泵开度，（主泵关闭状态下），将过滤罐内充到常压。取料

车，进行备料及取坩埚，取料后将工艺卡和原料进行仔细核对确认无

误后拿进拉晶室。料锅备完后，放到炉旁，下楼进行清罐。清罐时注

意看清炉号，将过滤芯夹缝中的氧化物清理干净，如有缝隙较小难以

清理的必须用工具将缝隙内氧化物全部挂下并清理干净，将过滤罐的

胶圈清理干净，检查放气阀是否拧紧，检查好过滤罐各个胶圈，然后

扣盖。

清理炉盖及副室。炉盖内要将隔热玻璃取下进行清理，用擦炉纸蘸酒

精，将炉盖及方箱内各处擦拭干净，并将杂物取出。检查炉盖胶圈及

翻板阀胶圈是否完好，并进行清理。清理副室时用干净的擦炉纸蘸酒

精绑到擦拭工具上进行清理。在清理过程中注意避免碰撞籽晶。

然后清理防爆阀、热场及石墨件。清理防爆阀时注意避免胶圈掉落炉

下，用吸尘器将防爆阀内氧化物清理干净，并用擦炉纸擦拭干净，将

胶圈放臵好。

清理热场及石墨件。清理热场首先检查加热器螺丝是否断裂，加热器

是否平稳，抽气口是否堵塞，连杆是否平稳，连杆波纹管内是否有杂

物。然后用吸尘器对炉内进行清理，清除掉加热器附着的氧化物、炉

内因开炉掉落的石英片及锅底料，及两侧管道内存留的大量氧化物。

清理石墨件时，首先查看埚帮是否有断裂，老化程度是否严重，（如

有问题及时请班长或段长确认），将石墨件清理干净后放回热场内准

备装料。将导流罩内外清理干净，石英内罩用擦炉纸轻轻擦拭，切勿

用力，避免擦炉纸在导流罩上残留。检查导流罩下沿有无粘料、及裂

痕，要及时处理。清理干净后将导流罩放到干净的擦炉纸上，避免再

次污染。

四、装料

装料前，先将所需用品备齐(一次性手套，口罩，帽子，白大褂等)，

并进行更换。洁净用品佩戴齐全后取出坩埚进行检查，确认没有问题

后放入炉内，轻拿轻放，避免磕碰。将原料开口，再开袋时尽量一次

剌开，避免反复剌袋造成碎袋掉入原料中。

开始装料。装料时，注意大小块的搭配，小料不能放到石英坩埚R

角以下的部位，那样拉出的单晶容易产生针孔。装料期间注意洁净度，

一次性手套脏了，漏了就要及时更换，避免将料掉到热场内及地上，

不要磕碰坩埚。料装到最后时，如需要码边时，一定注意码边的原料

要2/3在坩埚内，才能保证安全。装完料后，将锅转打为5转，同时

降锅，同时清理热场上的料沫。将坩埚降到平口位臵（石墨锅帮与加

热器一平）清理加热器上的料沫。清理干净后将锅位降到最低，清理

盖板A、B，检查是否有断裂。确认无误后放入热场。导流罩放入热

场内，放入大环，清理炉盖胶圈，准备扣盖。如导流罩内需要放料，

应注意不要将大块料留到罩内，避免化料时砸到坩埚，在码放罩子料

时应注意面积的大小，不能超过罩子下沿的最大直径，避免化料时照

成搭桥。料及石墨件放好后，将炉盖、副室的胶圈检查好，清理干净

后，扣盖抽空。

五、抽空

扣盖后打开主泵电源，开主泵电源时，首先要确认炉下主泵电机

上的电源空开是否推合，然后确认主泵开度是否已经归零，检查炉后

防爆阀是否扣严。都检查确认后，点动开启主泵电源（点动2、3次），

确认主泵已经打开后，将主泵球阀开度打开为30%，待真空压力表抽

到底后将开度打开到50%，当炉压显示值开始下降后将再将开度完全

打开。然后清理装料后留下的垃圾，及周围卫生。将料袋做好分类进

行处理（大