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电感耦合等离子电源设计

摘要

随着科学技术的发展，等离子体技术逐渐发展成熟，其获得的方式也有很多，例如通过紫外辐射、X射线、电磁场、加热等方法可以获得，其中通过电磁场激发出等离子体是一种可靠性较高、操作相对简便的方法。其原理是借助高频电源，给电感线圈输送高频信号，使其产生一个高频磁场，进而感生出二次电场，加速稀有气体击穿和等离子体流的形成过程。本论文针对以下两个方面进行研究：

（1）高频电源的制作及仿真。

（2）等离子体的激发过程仿真。

本文拟采用借助LTSPICE仿真的方式设计一个高频电源，通过高频电源给耦合电感输送高频电流，使电感在耦合条件下产生足够强大的磁场去感生二次电场，进而在CO