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欧洲微电子研究中心IMEC简介

提起比利时的小城——鲁汶，从事半导体行业的人无不知晓。尽管鲁汶的市中心

面积不足九平方公里，仅相当于北京天安门广场加上故宫的面积之和，就是这样

一个小得不能再小的城市里却拥有世界著名的独立的微电子研究中心，欧洲领先

的独立纳米技术研究机构——比利时弗拉芒校际微电子研究中心Inter-

universityMicroelectronicsCenter(IMEC,2010年后改名为imec)。

1984年，比利时法拉德斯省政府出资6200万欧元创建了非营利组

织IMEC，成立的主要宗旨在结合荷语区内各大学学术研究的力量，致力信息通

讯系统发展所需的技术研究与开发，以下一世纪的集成电路、封装技术、芯片

设计和系统发展为研究重心，进而带动外围相关科技的发展，以因应电子科技产

业界三至十年后的需要。时隔27年，IMEC早已成为欧洲最大的微电子、信息

及通信的研发中心，已从原来不足70人发展到2008年超过1650人，2008年

年收入达2亿7千万欧元。其实验室占地3600㎡、超无尘实验室占地6200

㎡、电脑室占地10400㎡，为欧洲最大半导体制造及设计中心，其每年预算约

为六百亿台币。实验室可以生产到0.25微米的积体电路。IMEC的重点在微机

的部份，由其大型无尘室及晶片设计制造中心颇富盛名，其微机电的制造技术室

采用传统的蚀刻技术，该组闻名的研究有视觉、加速度及压力的感测器，尤其

在比电路方面技术十分先进。

IMEC的研究活动主要是由三个技术单位所组成：制程技术(Process

Technology)单位包含了IMEC所有关于缩小集成电路尺寸(ICscaling)的研究活

动；智能系统与能源技术(SmartSystemsandEnergyTechnology)针对无线通

-可编辑修改-

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讯、自动化感应网络、生物医学手段、以及太阳能等各种领域开发创新性整合运

用；生产与制程研究开发(FABandProcessRD)单位统筹所有支持制程与工具

的知识。

IMEC的研究广泛，目前主要研究领域包括：纳米电子尺寸

（Scaling-drivennanoelectronics）、异质整合技术（CMORE-heterogeneous

integration）、绿色无线电（Greenradios）、电子组件（Digitalcomponents）、

光电技术（Photovoltaics）、生医电子科技（Human++-biomedicalelectronics）、

神经电子学（NERF-NeuroelectronicsResearchFlanders）、生物电子

（Organicelectronics）、无线自主转换器解决方案（Wirelessautonomous

transducersolutions）九大方向等。在半导体方面，以0.13至0.07微米CMOS

制程整合技术为主要重点，其中包含了193和157纳米光刻技术、高介电质栅

极(gatedielectric)材料、铜导线及低介电质材料开发。CMOS组件微小化有助

于未来系统单芯片(systemonchip,SoC)的开发。在微波组件上，SiGe

BiCMOS模块也是开发重点，此模块适用于数字模拟混和信号(analog/digital

mixedsignal)电路，并对于无线通信相关之应用有很大的影响。在非挥发性内存

(non-volatilememory)上，铁电材料内存(ferroelectricmemory)为主要研究重

点，今天IMEC已成为欧洲最大非挥发性内存研究中心。至于在材料、组件及封

装方面，则希望其技术