半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒.pdfVIP

ICS77.140.60

CCSH43

团体标准

T/SSEAXXXX—2022

T/CSTAXXXX—2022

半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

Superhighpurestainlesssteelbarsforsemiconductormanufacturingfacilities

2022-xx-xx发布2022-xx-xx实施

中国特钢企业协会

中关村不锈及特种钢棒新材料发布

产业技术创新联盟

版权保护文件

版权所有归属于该标准的发布机构。除非有其他规定，否则未经许可，此发行物及其章节不得以

其他形式或任何手段进行复制、再版或使用，包括电子版，影印件，或发布在互联网及内部网络

等。使用许可可于发布机构获取。

I

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国特钢企业协会团体标准化工作委员会、中关村不锈及特种钢棒新材料产业技术创新联

盟团体标准化工作委员会联合提出并归口。

本文件起草单位：安徽富凯特材有限公司、冶金工业规划研究院。

本文件主要起草人：。

1

半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒

1范围

本文件规定了半导体制造设备用超高纯度不锈钢棒（圆钢、方钢、扁钢、六角钢的总称，以下简称

钢棒）的分类、订货内容、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证

明书。

本文件适用于半导体制造设备阀门和钢管用尺寸（直径、边长、厚度或对边距离，以下简称尺寸）

不大于150mm的超高纯度不锈钢热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒。经供需双方协商，也可供应尺寸大

于150mm的热轧钢棒、冷拉坯料和冷拉钢棒。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T222钢的成品化学成分允许偏差

GB/T223.9钢铁及钢棒铝含量的测定铬天青S分光光度法

GB/T223.11钢铁及合金铬含量的测定可视滴定或电位滴定法

GB/T223.19钢铁及合金化学分析方法新亚铜灵-三氯甲烷萃取光度法测定铜量

GB/T223.25钢铁及合金化学分析方法丁二酮肟重量法测定镍量

GB/T223.28钢铁及合金化学分析方法α-安息香肟重量法测定钼量

GB/T223.36钢铁及合金化学分析方法蒸馏分离-中和滴定法测定氮量

GB/T223.59钢铁及合金磷含量的测定铋磷钼蓝分光光度法和锑磷钼蓝分光光度法

GB/T223.60钢铁及合金化学分析方法高氯酸脱水重量法测定硅含量

GB/T223.63钢铁及合金锰含量的测定高碘酸钠(钾)分光光度法

GB/T223.67钢铁及合金硫含量的测定次甲基蓝分光光度法

GB/T223.82钢铁氢含量的测定惰性气体熔融-热导或红外法

GB/T223.86钢铁及合金总碳含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法

GB/T226钢的低倍