集成电路工艺多气体传感器数据采集系统的设计.docx

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集成电路工艺多气体传感器数据采集系统的设计

摘要

随着集成电路生产规模工艺线日趋复杂，大量出现单参数多点监测控制的工艺需求，一些工艺环节对真空度的精确度要求在不断提高。在不同的工艺点，对气体成分和压力都有不同的要求，因此需要实现同时对多气体传感器的控制与数据采集。

本软件设计课题首先简要介绍了集成电路气体传感器的技术研究发展现状，在集成电路设计工艺应用中的是气体采集传感器，分析了其主要的性能和具体应用功能的指标，给出了气体传感数据采集系统软件设计的基本步骤和技术纲要。软件设计采用了模块化的思路按模块划分不同的区域有不同的采集功能，包括采集信号