GB_Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性.pdf

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

GB/Z42625—2023/ISO/TS20175:2018

真空技术真空计

用于分压力测量的四极质谱仪特性

Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Characterizationof

quadrupolemassspectrometersforpartialpressuremeasurement

(ISO/TS20175:2018,IDT)

2023-05-23发布2023-05-23实施

GB/Z42625—2023/1SO/TS20175:2018

目次

awin

弓IWIV

1賴1

2规范性引用文件1

3术语和定义2

4符号和缩略语3

5不同应用状况下要求或推荐的特征参数4

5.1一般要求4

5.2QMS的一般特性4

5.3漏率测量与监测（氦气泄漏）4

5.4漏率监测（空气泄漏）5

5.5漏率监测(水泄漏）5

5.6残余气体分析5

5.7放气率测试6

6表征QMS的真空系统6

6.1一般要求6

6.2用于表征的单一气体真空系统6

6.3用于表征的混合气体真空系统8

7表征与校准程序9

7.1一般要求9

7.2质量分辨率9

7.3最小可检分压力（/mdpp)10

7.4最小可检浓度C（mdc)10

7.5动态范围11

7.6灵敏度与干扰效应比11

7.7线性响应范围12

7.8相对灵敏度系数12

7.9图形模式(裂解模式）13

7.10QMS的放气率13

7.11QMS的抽速13

8测量不确定度14

8.1一般要求14

8.2质量分辨率的不确定度14

I

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8.3/mdpp的不确定度14

8.4最小可检浓度的不确定度(Cmdc)14

8.5动态范围的不确定度14

8.6灵敏度的不确定度14

8.7线性响应范围的不确定度15

8.8相对灵敏度系数的不确定度15

8.9图形系数的不确定度15

8.10放气率和抽速的不确定度15

8.11QMS特性参数的长期稳定性15

9报告结果16

附录A(资料性）不同流动状态下，由泄漏元件前置存储容器内的已知气体混合物，估算测量室内的

他雌17

19

n

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