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Operationinstruction
高温退火设备
的测试方法及验收规范
1/91
1技术要求
Operationinstruction
1.1总体要求
1.1.1气场均匀性要求
基片温度均匀性好、布气及气流场均匀性好、工艺气压稳定控制、气密性好，
安全性高，不得发生气体泄露和过压事故，玻璃基体在工艺实施过程中不发生划
伤和破损，设备便于维修维护。
1.1.2环境要求
工作环境温度0～40℃。
1.1.3供电要求
电源：AC220V/380V
电源波动范围：±10%
频率范围：50±5Hz
1.2设备构成及其技术要求
气氛保护退火线设备结构如图1所示，从左至右包括：装片架/进片室/预热室
/工艺室1/工艺室2/工艺室3/降温室/出片室/卸片架，共7个真空腔室、2个机架
工位，在真空室和真空室之间都设计独立门阀，进片室、出片室设计有非独立门
阀。
2/91图1气氛保护退火线设备结构示意图
气氛保护退火线主要由真空腔室、加热系统与温度测控系统、水冷系统、机
械传动及其控制系统、气体流量控制及其布气系统、真空获得和测控系统、电控
系统等部分组成；设备运行时噪音≤65dB。
基片装载形式：基片分二层存放（根据需要可改为三层），镀膜面朝上放置2
×2片，共4片1245mm×635mm基片，也可同时放置2片1245mm×1270mm
基片。基片材质为玻璃，其厚度3mm。基片装载小车如图2所示，其材质为石墨，
由乙方负责设计并提供加工图纸，由甲方负责加工制造并承担加工制造费用。
图2基片装载小车示意图
Operationinstruction
1.2.1真空腔室
真空腔室包括进出片室/预热室/工艺室1/工艺室2/工艺室3/降温室/出片室，
共7个腔室，并设计有进、出片架，及回架系统。真空腔室为长方体型，每个真
空室均有1个真空室维修门，以便于安装及设备的检修，便于调试、腔内清理、
维修和零部件的更换。腔室选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，焊接后整体去应力
处理，外表面喷砂，内表面化学抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密
封。
在腔体上设计有观察窗，以观察工作时靶材和工件的运行情况。
腔体间门阀需设计合理、密封严密、经久耐用、便于维修。
1.2.2布气及工艺气压恒压系统
所有工艺气路采用直径6mm的316L不锈钢管。工艺气体经1路送来，经8
路分气后进入工艺腔室，8路分气系统由乙方制造，与引来的1路工艺气体对接。
分气系统必须布置于工艺腔室之外以避免受到内部温场的影响。八路特气引入接
口位于腔室壁上，接口后端布置有均气板，将特气均匀引入石墨内腔之内，经过
工艺反应后，尾气再次通过均气板由八路引出接口抽出真空室。均气板上布置有
均匀分布的小孔，通孔数量、尺寸与分布应合理，以保证气体均匀流过基片表面。
在工艺过程中，腔室内气体可处于流动状态并维持恒定气压，因此在真空管
路上需配置可调阀门，阀门开合状况受气压计自动控制以控制气体抽速，从而达
到稳定工艺气压的目的。每个工艺腔体均可单独控压，共需3套恒压控制系统。
工艺气压一般恒定在104Pa，气压控制精度≤±300Pa。
3/91
1.2.3基片加热与温度测控系统
基片温度：
腔室基片最高温度基片温度不带料保温时基片温度由室温加热
均匀性基片温度波至最高温度的时间
动
进片室100℃≤±5℃≤±5℃≤1小时
预热室300℃
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