《铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法编制说明》.pdf

团体标准

《铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法》

（征求意见稿）

编制说明

标准编制组

2024年8月

一、工作简况

（一）任务来源

根据2024年6月20日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布

的《关于铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法团体标准立项通知》，由江

西匀晶光电技术有限公司牵头申报的团体标准《铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及

分级方法》获批立项。

（二）立项目的和意义

2024年全球调制器芯片及器件市场规模将达226亿美元，光通信快速渗透，

叠加光纤陀螺、超快激光器等非通信市场的需求后，长期全球薄膜铌酸锂调制器

市场规模有望超百亿。铌酸锂晶圆主要用于声学领域的声表面波器件(SAW)和光

学领域的铌酸锂调制器芯片及器件。SAW器件可以使用声学级铌酸锂来降低成

本，但光学器件必须使用品质更高的光学级铌酸锂晶圆片。目前对铌酸锂分级成

光学级和声学级有多个指标来表征，但大多数指标和检测方法适应于大块单晶棒，

针对较薄的晶圆并不合适。例如，使用干涉仪测量光学均匀性时，加工面型和晶

圆自然形变对测试结果影响较大。此外，还有一些方法可能需要与材料直接接触，

或者在测量过程中对材料造成破坏。例如，通过棱镜耦合技术来测定表面的折射

率。

铌酸锂单晶内部生长条纹的多少是区别声学级和光学级的重要依据。内部生

长纹会导致折射率不均匀和波前畸变，研究表明单晶生长纹会显著降低器件性能。

因此，非接触、无损伤检测超薄的铌酸锂晶圆内部生长纹，快速直观地区分声学

级和光学级，编写完备的光学级铌酸锂单晶片的交付和验收标准，有助于国内铌

酸锂产业链良性发展，更加快速的参与国际市场竞争，在铌酸锂领域具备卡位优

势。

（三）起草单位

1

本标准由江西匀晶光电技术有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年6月3日，江西匀晶光电技术有限公司（以下简称：匀晶光电）召开

标准立项讨论会。会议决定以匀晶积累多年的铌酸锂晶圆研发和生产制造经验为

基础，检索对比铌酸锂晶圆内部脉理条纹观测及分级方法相关标准，组建标准编

制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、框架

和主要内容等。