中国电子特气行业发展环境、市场运行格局及投资前景研究报告（2024版）.pdf

电子特气

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电子特气

一、定义及分类1

二、行业政策2

三、行业历程3

四、行业壁垒4

1、技术壁垒4

2、客户认证壁垒4

3、海外业务拓展在专利布局、市场开发方面存在较大挑战4

4、人才壁垒4

5、资质壁垒5

6、资金壁垒5

五、产业链6

1、行业产业链分析6

2、行业领先企业分析7

（1）中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司7

（2）江苏雅克科技股份有限公司8

六、行业现状9

七、发展因素10

1、有利因素10

（1）国家政策大力鼓励电子特种气体产业的发展10

（2）集成电路、显示面板等产业扩张带动电子特种气体需求强劲10

（3）国产替代与国际化发展趋势，为国内电子特种气体企业带来发展契机10

（4）产业配套逐步完善，产业价值愈发显现10

2、不利因素11

（1）部分气体品种仍有技术壁垒11

（2）新产品研发的压力11

（3）专业化人才不足制约产业发展11

八、竞争格局12

1、四巨头主导国际气体市场，竞争优势较为明显12

2、国内企业技术不断进步，国产替代逐渐加速13

九、行业趋势14

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一、定义及分类

电子特种气体，简称电子特气，是指用于半导体、显示面板、光伏、LED及其它电子产品生产过

程的特种气体。工业中，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。电子特种气体主要应用于

光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，主要分为三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属

气相沉积气体等。

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二、行业政策

电子特种气体作为关键性电子材料，广泛应用于集成电路、显示面板、光伏、光纤通信等领域，

近年来得到国家产业政策的大力支持。国家发改委、科技部、工信部、财政部、国家税务总局等部门

相继出台一系列产业支持政策，有力推动了电子特种气体产业的发展。

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三、行业历程

电子特气技术延续于工业气体的发展进步，18世纪末，工业气体主要被应用于医用领域，后逐

步应用于商业领域；20世纪中期，分馏加工方法的发明和使用，大大降低了工业气体的生产成本，

加速了工业气体的产业化进程；20世纪末，电子产业高速发展，运用于集成电路、显示面板等电子

设备的高品质、高纯度电子特气需求增大，从而诞生了特种气体行业。至今，随着电子信息等高新技

术的迅速发展，特种气体规模不断扩大、技术壁垒不断提升。海外企业具备多年的技术、渠道、资源、

人才的积累，在特种气体市场占据领先优势，近些年国内部分领先龙头企业实现了技术突破，打破了

海外产品垄断，逐步在市场崭露头角。

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四、行业壁垒

1、技术壁垒

电子特种气体种类较多，不同类产品的合成、纯化等工艺技术可能存在较大差异，且工艺路线长、

过程复杂；同时，电子特种气体对产品纯度、产品指标的稳定性和一致性要求极高，需要对生产过程

中各类杂质含量进行精准有效地控制，工