GBT-气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器.pdf

IICCSS7711.1.0100.02.020

CCSG86

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXX—XXXX/ISO6145-7:2018

气体分析动态法制备校准用混合气体第

7部分：热式质量流量控制器

Gasanalysis--Preparationofcalibrationgasmixturesusingdynamic

methods--Part7:Thermalmass-flowcontrollers

（ISO6145-7:2018,IDT）

（征求意见稿）

（本稿完成日期：2024年2月21日）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上

××××-××-××发布××××-××-××实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T5275.7—XXXX/ISO6145-7:2018

目  次

前 言II

引  言3

1范围4

2规范性引用文件4

3术语及定义4

4符号4

5原理5

6主要部件5

6.1概述5

6.2使用恒流源的热式质量流量控制器5

6.3恒温控制的热式质量流量控制器6

7混合气体的制备7

7.1实验步骤的描述7

7.2有效范围9

7.3运行条件9

8计算9

8.1体积分数9

8.2不确定度来源10

8.3测量的不确定度11

附录A（资料性）使用预混合气体制备高稀释比的混合气体12

A.1体积分数的计算12

A.2体积分数的不确定度12

附录B（资料性）应用提示13

B.1设备13

B.2操作13

B.3校准与精度13

附录C（资料性）不确定度的计算14



C.1在使用“纯气”的情况下的相对标准不确定度14

a



C.2在使用稀释混合气的情况下的相对标准不确定度14

a

参考文献16

I

GB/T5275.7—XXXX/ISO6145-7:2018

前 言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件是GB/T5275的第7部分。GB/T5275已经发布了以下部分：

——气体分析动态法制备校准用混合气体第1部分：通用要求；

——气体分析动态法制备校准用混合气体第2部分：活塞泵；

——气体分析动态法体积法制备校准用混合气体第4部分：连续注射法；

——气体分析动态法体积法制备校准用混合气体第5部分：毛细管校准器；

——气体分析动态法制备校准用混合气体第6部分：临界流锐孔；

——气