原创力文档- 1、本文档共7页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
第44卷
第4期真空科学与技术学报
2024
年
4
月CHINESE
JOURNAL
OF
VACUUM
SCIENCE
AND
TECHNOLOGY325
临界喷嘴在真空泵抽速测试及计量中研究和应用
1*11123
徐法俭刘继睿袁铮任昌青姜云锋董钦敏
(1.
淄博真空设备厂有限公司
淄博
255200；2.
国家泵类产品质量检验检测中心(山东)
淄博
255200；
3.
沈阳水泵研究所有限公司
沈阳
110869)
ResearchandApplicationofCriticalNozzlesinVacuum
PumpSpeedTestingandMeasurement
1*11123
XU
Fajian，LIU
Jirui，YUAN
Zheng，REN
Changqing，JIANG
Yunfeng，DONG
Qinmin
(1.
ZiboVacuumEquipmentPlantCo.,Ltd.,Zibo255200,China;
2.
NationalProductsQualityInspectionandTestingCenterfor
Pumps(Shandong),Zibo255200,China;
3.
ShenyangPumpResearchInstituteCo.,Ltd.,Shenyang110869,China)
AbstractThere
are
various
methods
for
measuring
the
pumping
speed
of
vacuum
pumps,
and
their
accuracy
is
affected
by
methods,
instrument
accuracy,
and
other
factors.
The
constant
flow
method,
as
one
of
the
methods,
is
based
on
the
theory
of
compressible
fluids
in
one
element.
The
article
combines
the
basic
theory
of
one-dimensional
compressible
fluids
with
existing
testing
methods,
proposing
to
use
the
critical
state
of
the
nozzle
as
the
basis
for
measuring
the
constant
flow
rate
method.
By
the
appearance
of
the
critical
state
of
the
nozzle
and
the
calculation
of
the
critical
value,
as
the
benchmark
value
for
measuring
the
flow
rate
of
the
vacuum
pump,
only
environmental
parameters
need
to
be
measured
during
the
measurement
process
to
determine
the
flow
rate
of
the
va
文档评论（0）