GB_T 25915.3-2024洁净室及相关受控环境 第 3 部分 检测方法.docxVIP

ICS13.040.35CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019代替GB/T25915.3—2010

洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part3:Testmethods

(ISO14644-3:2019,IDT)

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019

目次

前言 Ⅰ

引言 Ⅱ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

3.1一般术语 1

3.2与空气悬浮粒子有关的术语 2

3.3与空气过滤器和过滤系统有关的术语 3

3.4与气流和其他物理状态有关的术语 4

3.5与静电测量有关的术语 4

3.6与测量器具和测量条件有关的术语 5

3.7与占用状态有关的术语 5

4检测规程 5

4.1洁净室检测 5

4.2原理 6

5检测报告 8

附录A(资料性)支持性检测和清单的选择 9

附录B(资料性)支持性检测方法 13

附录C(资料性)检测仪器 35

参考文献 43

Ⅰ

GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第3部分。GB/T25915已经发布了以下部分:—第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;

—第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;—第3部分:检测方法;

—第4部分:设计、建造、启动;—第5部分:运行;

—第6部分:词汇;

—第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);—第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;

—第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;

—第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;

—第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求;

—第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁;—第14部分:按粒子浓度评估设备适用性;

—第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性;

—第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效。

本文件代替GB/T25915.3—2010《洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法》,与GB/T25915.3—2010相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:

a)第3章术语和定义:

—更改术语“离散粒子计数器”为“光散射粒子计数器”(见3.6.4,2010年版的3.6.8);

—增加了“分辨力”(见3.1.5)、“灵敏度”(见3.1.6)和“配有流量计的风量罩”(见3.6.3);

—删除了“大粒子”“M描述符”“U描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量”“非等动力采样”“串级撞击采样器”“凝聚核计数器”“计数效率”“微分迁移率分析仪”“扩散元件”“伪计数”“风量罩”“同轴采样”“等动力采样”“粒径限制器”“阈值粒径”“飞行时间粒径测量”和“虚拟撞击器”(见2010年版的3.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12、3.3.10、3.4.2、3.6.2、3.6.3、3.6.4、3.6.5、3.6.6、3.6.7、3.6.9、3.6.10、3.6.11、3.6.12、3.6.13、3.6.14、3.6.15、3.6.16);

b)更改“必测项目”为“一般检测”,并更新了具体内容(见4.1.1