具有超疏水表面的硅二氧化硅层次结构薄膜最终.ppt

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具有超疏水外表的硅/二氧化硅层次结构薄膜

;硅基材料的超疏水外表的制备方法;超疏水硅基薄膜;超疏水外表的主要制备途径;用CVD方法合成的具有超疏水外表的硅基薄膜结构的特点和优势;实验局部;超疏水硅基薄膜结构的合成步骤

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;以下图a,b分别为所制备的薄膜外表的俯视和侧视SEM照片;以下图c为构成薄膜外表的单根线的TEM照片,图2c中的插图(左上)为位于单根线状结构壳层的辐射状纳米线(白色虚线圆圈处组成成分的EDX谱图,EDX结果说明壳层纳米线由Si和O两种元素组成(谱图中Cu元素来自于负载样品的铜网),其中O/Si原子个数比约为2,壳层纳米线的选区电子衍射(SAED)(图2c右下插图)说明该纳米线为非晶SiO2;;;;图4为硅基薄膜结构的示意图;;;;;硅基薄膜结构外表的亲疏水性的变化的原因;Cassie理论对上述原因的解释;;实验结果;结论

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