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电容式加速度计研究
摘要
自上世纪MEMS加速计问世以来，经过几十年的不断发展，如今已被广泛的应用在军事和民用领域。MEMS高g值加速度计在军事上主要应用于硬目标的毁伤武器引信系统中，如钻地弹引信中。MEMS技术的引入，不仅可以实现引信的微小型化，还能满足引信在使用过程中耐受高击、高温、高量程等要求，因此国内外的科研机构、高校院所都对其开展了广泛的研究。
本文在现有的研究基础之上，进一步优化MEMS高g值加速度计的结构。通过对加速度计原理、结构以及数学模型的理论分析，掌握MEMS加速度计的工作原理和设计准则，确定了研究的加速度计的类型为“十字梁”、“L型梁”以及“八轴梁”。
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