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摘要
摘要
直线伺服系统是半导体检测设备运动台控制系统中的核心部分。为了满足半导体
检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪，降低运动台轴运动的稳定时间，提高半导体
检测设备的产率，需要研究设计出满足控制要求的直线伺服系统。
本文以半导体检测设备运动台为研究对象，将滤波器型迭代学习控制算法进行改
进后用于减小半导体检测设备运动台的运动稳定时间，使用分段PID控制构建直线伺
服系统快速稳定控制算法。从而提高系统的控制性能和稳定
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