真空泵分析和总结.docx

一、真空泵的性能参数

1、真空泵的极限压强

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。

2、真空泵的抽气速率

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3、真空泵的抽气量

真空泵的抽气量单位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的气体流量。4、真空泵的起动压强

真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5、泵的前级压强

真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6、真空泵的最大前级压强

真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

7、真空泵的最大工作压强

真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

8、压缩比

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9、何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10、抽速系数

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11、返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12、水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13、最大允许水蒸气入口压强

最大允许水蒸气入口压强单位是Pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

二、真空泵的使用范围

由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。

表常用真空泵的工作压强范围及起动压强

真空泵种类工作压强范围（Pa）起动压强（Pa）活塞式真空泵1×105～1.3×102 1×105

旋片式真空泵1×105—6.7×10-1 1×105

水环式真空泵1×105—2.7×103 1×105

罗茨真空泵1.3×103—1.3 1.3×103

涡轮分子泵1.3—1.3×10-51.3

水蒸气喷射泵1×105—1.3×10 -11×105

油扩散泵1.3×10-2—1.3×10 -71.3×10

油蒸气喷射泵1.3×10—1.3×10 -21.3×105

分子筛吸附泵1×105—1.3×10 -11×105

溅射离子泵1.3×10-3—1.3×10 -96.7×10-1

钛升华泵1.3×10-2—1.3×10 -91.3×10-2

锆铝吸气剂泵1.3×10—1.3×10 -111.3×10

低温泵1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

真空泵型号及规格的表示方法

根据中华人民共和国机械行业标准JB/T7673-95的规定，国产各种真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。其表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。

国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示泵在结构上为双级泵。

某些真空泵系列对其抽气速率则以几何级数来分档。其单位是“L/S”。共分18个等级，分别为0.2，0.5，1，2，4，8，15，30，70，150，300，600，1200，2500，5000，10000，20000，

40000。真空泵系列有时也可用泵的入口尺寸来表示，其单位是“mm”。由于泵的种类较多，选用时应参阅不同生产厂家的产品说明书式样本，是很重要的。

表3-2常用真空泵的汉语拼音代号及名称代号名称代号名称

W往复真空泵Z油扩散喷射泵（油增压泵）

D定片真空泵S升华泵

X旋片真空泵LF复合式离子泵

H滑阀真空泵GL锆铝吸气剂泵

ZJ罗茨真空泵（机械增压泵）DZ制冷机低温泵

YZ余摆线真空泵DG灌注式低温泵

L溅射离子泵IF分子筛吸附泵

XD单级多旋片式真空泵SZ水环泵

F分子泵PS水喷射泵

K油扩散真空泵P水蒸气喷射泵