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摘要
摘要
光开关作为硅基光电集成网络的核心器件，具有一个或多个可选的传输端口，能
够对光传输线路和集成光信号进行灵活转换，是高速率数据传输与交换的基础单元。
低损耗、低功耗、小尺寸的光开关及阵列成为当前研究的重点。聚合物材料具有较高
的热光系数、低廉的制作成本、折射率可调等优点，成为实现光开关及阵列的重要材
料。利用聚合物材料的热光效应，通过加热改变光波导的折射率从而控制光开关实现
不同的开关状态，在光开关单元结构中设置空气
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