T∕CCGA 30001-2019 超纯氨 T∕CCGA 30001-2019 超纯氨.pdf

JCS71.100.20

G86

体

团标准

T/CCGA30001-2019

超纯氨

Ultrapureammonia

2020-01-29实施

2019-10-29主主

发布

中国工业气体工业协会

目；欠

前言II

1范围..............................................................................1

2规范性引用文件....................................................................1

3技术妥求..........................................................................1

4试验方法2

5标志、包装、贮运及安全3

目lji§

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。

本标准囱中国工业气体工业协会提出并归口。

本标准起草单位：苏州｜金宏气体股份有限公司、巾国工业气体工业协会。

本标准主要起草人：金向华、许军外｜、袱辛辛干、魏入锋、庄神华、宋r,r,.

超纯氢

1范围

本标准规定了超纯氮产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。

;;f豆标准适用于工业液氮通过吸附预纯化、精惚提纯、终端纯化生产的超纯氮产品。该产品是微电子

氮化硅掩蔽膜的主~原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LEO）行业的显要原材料。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本〈包括所有的修改单）适用于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T5099钢质无缝气瓶

GB/T5832.3气体巾微量水分的测定第3部分：光H庭主是荡光谱法

GB/T71钊气瓶颜色标志

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB/T14601-2009电子工业用气体氮

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16483化学品安全技术说明书内容和项目顺序

GB/T16804气瓶得示标签

JT/T617危险货物道~41运输规则

气瓶安全技术监察规程

3技术要求

3.1产品质量

超纯氮产品的质量应符合表1的姿求。

3.2重金属含量

超纯氮