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激光位移传感器工作原理及其实际应用

摘要

激光位移传感器的测量精度很大程度上受光斑质量的影响，因此要想使系统能高质量成像，必须严格控制光斑质量。本文使用光学设计软件ZEMAX，完成了一种激光位移传感器传感探头的光学软件仿真，总体分为两个阶段：首先，通过理论分析，对已知参数进行数学运算，确定将要设计的系统的尺寸大小，从这些数据中我们可以选择与之相匹配的初始结构。接下来，把选择的初始结构参数输入到镜头数据编辑器中，仿真出系统光路配置图，再结合系统像差进行相应的优化处理，使其满足符合设计要求。

关键词：激光位移传感器；ZEMAX；光学设计

Abstract

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