半导体先进封装高速高精度三维检测的关键技术研究.pdf

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半导体先进封装高速高精度三维

光学检测的关键技术研究

——清华大学创新领军工程博士资格考试答辩

目录

contents

01研究背景

02关键问题

03解决思路与方法

04预期目标

研究背景——半导体制造业亟待突破

晶圆规模

全球(亿美元)中国(亿元)

1500

芯片是科技王冠上的宝石,

作为大国重器,是综合实力的体1000

现。

500

0

半导体制造业主要分为晶圆20182019202020212022E

制造与封装测试两大部分,中国数据来源:ICInsights

大陆在这两个领域的全球规模占

2022年全球封测前十强

比均有待加强。亿元中国大陆企业

90027.11%

800

700

目前中国大陆半导体制造业60014.08%

500

专用设备国产率仅为17%。40010.71%

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