aip 2010 effects of and oxidants-related impurities in atomiclayer deposited la2o3 films observed by situ ray photoelectron通过原位射线光电子能谱观察o3h2o氧化剂对原子层沉积薄膜中相关杂质影响.pdfVIP
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EffectsofO3andH2OoxidantsonCandN-relatedimpuritiesinatomic-
layer-depositedLa2O3filmsobservedbyinsitux-rayphotoelectron
spectroscopy
TaeJooPark,PrasannaSivasubramani,BrianE.Coss,Hyun-ChulKim,BongkiLeeetal.
Citation:Appl.Phys.Lett.97,092904(2010);doi:
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