（正式版）-B-T 40868-2021 纳米尺度科研生产受控环境规划与设计.docxVIP

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准GB/T40868—2021

纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

Planninganddesignofcontrolledenvironmentsforresearchand

productionatthenanometerscale

2021-10-11发布

2022-05-01实施

国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

发布

GB/T40868—2021

目次

前言 I

引言 Ⅱ

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4概述 2

5规划 2

6设计 3

附录A(资料性)噪声评价曲线与限值 6

附录B(资料性)防微振设计 9

附录C(资料性)纳米材料风险控制 12

参考文献 14

I

GB/T40868—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。

本文件起草单位：江苏苏净科技有限公司、中国电子工程设计院有限公司、中天道成(苏州)洁净技术有限公司、苏州市计量测试院、苏州嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境净化有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、杭州市标准化研究院、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工

程项目管理有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司。

本文件主要起草人：王尧、蔡杰、姜皓遐、蒋乃军、杨子强、王其祥、王大千、姜伟康、陈霖新、张利群、朱兰、邴绍同、石小雷、高正、周炬、吴小泉、叶伟强、翟传明、张敏、杨兴宇、董玉平、郝胤博、惠旅峰、

肖轶群。

Ⅱ

GB/T40868—2021

引言

纳米尺度受控环境涉及多学科交叉，且非常复杂，其设计很难参照现有的设计资料，设计、建造技术

难度高、投资大，建设周期长，适宜的规划设计有助于项目顺利进行。

本文件总结归纳已建纳米尺度受控环境的经验，提示规划、设计可能遇到的特殊问题，以及项目进程中的潜在障碍，为项目规划决策提供指南。给出的相关技术要求和限值，方便业主与设计团队间的技

术协商和探讨。

本文件未详细规定环境条件，具体科研生产需求以及具体工艺设备、仪器决定其环境条件。

本文件并非普遍适用于所有纳米技术设施的具体项目或细节。设施各不相同，使用时宜将本文件

的一般性要求加以完善，以适应具体设施的运行要求。

1

GB/T40868—2021

纳米尺度科研生产受控环境规划与设计

1范围

本文件给出了纳米尺度科研生产受控环境的规划与选址勘察、设计要求等。

本文件适用于纳米尺度科研生产受控环境的规划与设计。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

纳米尺度nanometerscale;nanoscale

处于1nm～100nm之间的尺寸范围。

[来源：GB/T30544.1—2014,2.1,有修改7

3.2

粒子particle

有明确物理边界的微小物质。

3.3

纳米颗粒nanoparticle

三个维度的外部尺寸都在纳米尺度的纳米物体，其最长轴和最短轴的长度没有明显差别。

[来源：GB/T30544.4—2019,2.4]

3.4

污染物contaminant

对产品和工艺有不良影响的粒子、非粒子、分子或生物体。

[来源：GB/T25915.6—2010,2.41]

3.5

空气化学污染物airchemicalcontamination

存在于空气中，其化学特性可对产品、工艺、设备有不良影响的任何物质。

3.6

生物污染biocontamination

活粒子对物料、装置、人员、表面、液体、气体或空气的污染。

[来源：GB/T25915.6—2010,2.25]

3.7

设施installation

所有相关构筑物、空气处理系统以及服务、公用系统集合而成的洁净室，或一个或数个这样的洁

净区。

2

GB/T40868—2021

[GB/T25915.6—2010,定义2.82]

4概述

4.1纳米尺度科