GBT-微机电系统（MEMS）技术 射频MEMS环行器和隔离器.pdf

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX—XXXX/IEC62047-41:2021

`

微机电系统(MEMS)技术

射频MEMS环行器和隔离器

Microelectromechanicalsystem(MEMS)technology—RadiofrequencyMEMS

circulatorsandisolators

(IEC62047-412021Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-

：，

Part41:RFMEMScirculatorsandisolators，IDT)

（送审稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/TXXXXX—XXXX/IEC62047-41:2021

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

通用术语1

射频特征参数2

4基本额定值和特征参数2

标识和型号2

应用和规格说明3

极限值和工作条件3

射频特征参数4

可靠性参数4

附加信息4

5测量方法5

通则5

插入损耗(L)6

ins

隔离度(L)10

iso

回波损耗(L)12

ret

电压驻波比(VSWR)（可选项）14

输入阻抗(Z)（可选项）15

in

磁泄漏（可选项）17

6可靠性测试18

通则18

功率容量18

寿命19

温度循环19

冲击测试19

振动测试19

键合强度和可焊性测试19

附录A（资料性）环行器和隔离器简介20

参考文献22

I

GB/TXXXXX—XXXX/IEC62047-41:2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件等同采用IEC62047-41:2021《半导体器件微机电器件第41部分：射频MEMS环行器和隔离

器》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

——为与现行的MEMS领域国家标准命名方式协调一致，本国家标准的名称为《微机电系统(MEMS)

技术射频MEMS环行器和隔离器》；

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。

本文件起草单位：XXXXXX。

本文件主要起草人：XXX

II