传感器与智能检测技术 课件 4.3.3 电容式传感器的应用.pdf

主讲老师：沈燕卿教授

左准绳，右规矩，载四时，以开九州，通九道。--《史记·夏本纪》

01■4.2.1电容式传感器的工作原理和特性

4.2电容式02■4.2.2电容式传感器的转换电路

传感器

03

1.电容式传感器的工作原理及类型

SSS

Cr0

dd

dS——极板相对覆盖面积；

   d——极板间距离；

   ε——相对介电常数；

εr

   ε——真空介电常数，；

0

   ε——电容极板间介质的介电常数。

变面积型(S)型:(a)、(b)、

(c)、(d)、(e)、(f)；

变介电常数(ε)型:(g)、(h)、

(i)、(j)；

变极距(δ）型:(k)、(l)；

2.电容式传感器的应用

振动被测物

被测轴

a)测振幅

b)测轴回转精度和轴心偏摆

2.电容式传感器的应用

非导电材料

厚度测量

刹车盘厚度测量

金属层

晶片厚度测量

2.电容式传感器的应用

与其他压

力传感器

镀金表面（固定板）拉伸不锈钢膜片（活动）川仪eja110智能有何区别？

差压变送器

CCK