MEMS的发展及其加工技术简介.docx

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2024-07-17 发布于天津
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MEMS的进展及其加工技术简介

一、引言

随着科学的进一步进展，人类社会正向人性化、多元化的方向进展。由此孕育而生的多元化技术已经蓬勃进展。MEMS的消灭和进展既是建立在多学科根底之上产生的穿插性学科和技术，它的消灭必将为工业技术带来巨大的变革。微小型化始终是当代科学技术进展的重要方向。微电子技术的进展,不仅使计算机与信息技术等领域面貌一,而且在很多领域引发了一场微小型化的革命。以加工微米/纳米机构和系统为目的的微米/纳米技术在此背景下应运而生。一方面,人们利用物理、化学方法将原子和分子组装起来,形成有肯定功能的微米/纳米构造;另一方面,人们利用精细加工手段