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第2章电阻式传感器主讲：张辉2.2半导体应变片及压阻式传感器2.2.1半导体应变片半导体应变片是用半导体材料，采用与丝式应变片相同方法制成的。半导体应变片的工作原理是基于半导体材料的压阻效应。压阻效应：材料的电阻率随作用应力而变化的现象称为该材料的压阻效应。所有材料在某种程度上都呈现压阻现象，但半导体材料的这种效应特别显著，能直接反映出微小的应变。半导体压阻效应可解释为：由应变引起能带变形，从而使能带中的载流子迁移率及浓度也相应地发生相对变化，因此导致电阻率变化。1–应变片2–半导体敏感条3–外引线4–引线连接片5–内引线体形半导体应变片的结构形状半导体应变片的制作方法将半导体材料按所需晶向切割成片或条，粘贴在弹性元件上，制成单根状敏感栅使用，称作“体型半导体应变片”。将P型杂质扩散到N型硅片上，形成极薄的导电P型层，焊上引线即成应变片称作“扩散硅应变片”。优点：尺寸、横向效应和机械滞后都很小，灵敏度高，频率响应范围很宽，输出幅值大，不需要放大器，可直接与记录仪连接使用，使测量系统简单，分辨率高。缺点：温度系数大，测量较大应变时非线性比较严重。半导体电阻应变片的测量电路一般采用直流电桥电路，但须采用温度补偿措施，如图所示。Rs－串联电阻：调零作用Rp－并联电阻（负温度系数热敏电阻）：补偿作用
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