- 1、本文档共27页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
证券研究报告2024.05.29
半导体
“芯机遇”系列:见微知著,半导体真空零
部件砥砺前行
江磊分析员彭虎分析员石晓彬分析员
SAC执证编号:S0080523070007SAC执证编号:S0080521020001SAC执证编号:S0080521030001
SFCCERef:BTT278SFCCERef:BRE806xiaobin.shi@
lei.jiang@hu.peng@
纵轴:相对值(%)观点聚焦
110沪深300中金半导体投资建议
100真空系统为半导体设备中核心的零部件,尤其在等离子体设备运行时对真
90空环境的要求尤为严苛。目前真空系统中核心部件(真空泵、阀门、腔
体、测量仪器)等皆主要由美、日、欧洲企业供应。随着半导体供应链安
80
全重要性日趋增加,我们认为未来真空零部件国产替代有望加速。
70
60理由
2023-052023-082023-112024-022024-05
真空系统为干法(等离子体)设备中核心的组成部分之一。真空系统通常
由真空泵(低温泵、干泵、分子泵等)、真空阀门(隔离阀、传输阀、调压
股票股票目标P/E(x)
阀、插板阀等)、真空测量仪器(薄膜真空规、压力开关等)、真空腔体、
名称评级价格2024E2025E真空管路及法兰等核心零部件构成。在半导体干法设备中通常需要在真空
江丰电子-A跑赢行业57.5035.724.2条件下利用高频高压使电极周围的气体电离形成等离子体,并对晶圆进行
富创精密-A跑赢行业88.8644.026.8加工,因此真空系统在干法设备中起到至关重要的作用。
中金一级行业:科技
2023年全球真空零部件市场约55.9-83.8亿美元。我们从半导体设备零部
资料来源:Wind,彭博资讯,中金公司研究部件两大下游市场出发,根据SEMI,2023年全球前道设备市场规模906亿
美元,真空系统在设备采购中占比约20-30%,2023年全球设备厂采购真
⚫半导体|半导体设备系列二:半导体制造产能扩张,设
备零部件需求旺盛(2022.03.21)空零部件约35.9~53.8亿美元;根据全球晶圆厂零部件采购金额在
⚫半导体|“芯机遇”系列:半导体材料小而美赛道,国产100~150亿美元推算出晶圆厂端每年采购真空类备件约20~30亿美元。
替代加速成长(2023.04.02)
⚫半导体|“芯机遇”系列:LCD产业链有望“量价齐升”国产化率较低,看好真空零部件加速实现替代。半导体真空零部件目前主
文档评论(0)