半导体器件 微电子机械器件 第 36 部分：MEMS 压电薄膜的环境及介电耐受试验方法 编制说明.docx

《半导体器件微电子机械器件第36部分：MEMS压电薄膜的环境及介电耐受试验方法》（征求意见稿）编制

说明

一、工作简况

1、任务来源

根据“国家标准化管理委员会关于下达2023年第四批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知”（国标委发[2023]63号，2023年12月28日），由工业和信息化部电子第五研究所牵头负责国家标准《半导体器件微电子机械器件第36部分：MEMS压电薄膜的环境及介电耐受试验方法》的制定，计划编号T-339，中国电子技术标准化研究院等单位参与本标准的编写。本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出，全国集成电路标准化技术委员会归口。

2、制定背景

MEMS技术是微电子技术的重要组成部分，广泛应用于消费电子、汽车电子、工业控制、医疗健康等国民经济的各个领域。本项目的标准化对象为MEMS压电薄膜及基于压电薄膜的MEMS执行器。压电MEMS技术是建立在压电薄膜材料、薄膜沉积和微细加工工艺、器件设计和系统制定等多种元素技术基础上的跨学科领域。随着MEMS功能的日益成熟，压电薄膜如Pb(Zr,Ti)O3(PZT)或AlN的MEMS应用研究近年来越来越受欢迎。MEMS压电薄膜可以配置简单紧凑的器件，与传统的体积型、静电型或电磁薄膜相比，具有更低的功耗、更高的灵敏度和更快的响应速度。但薄膜材料的性能对器件性能影响很大。

为了实现一种满足预期的MEMS压电薄膜，有必要了解其压电性能是如何在温度和湿度的环境应力作用下变化的。要想制造出一种可行的MEMS压电薄膜及基于压电薄膜的执行器，还需要对其介电耐受能力有清晰的认识。因此，本标准的制定可为指导企业设计、生产和使用MEMS压电薄膜提供科学可靠的依据。

近年来全球MEMS器件市场规模以每年高于10%的速度持续快速增长，中国MEMS市场在全球市场中占比超过50%。未来，随着全球电子制造产业链加速向亚太地区转移，凭借成本等优势，MEMS产业重心也将不断东迁，亚太地

区的MEMS产业规模也将持续增长。此外，亚太地区也是消费电子、汽车和工业领域的主要市场，亚太地区已成为大型投资和业务扩张机会的全球焦点。而中国是亚太地区MEMS发展潜力最大、增速最快的市场，尤其是移动互联网与物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远影响，催生出大量创新产品及应用，带动MEMS产品在工业生产及日常生活的普及化。

上述行业现状亦表明，MEMS相关产品技术在产业化方面已经达到了很高的技术成熟度，制定MEMS标准，规范MEMS产品的测试、试验方法，具有坚实的行业技术基础及迫切的行业需求。

3、工作过程

国家标准制定计划下达后，工业和信息化部电子第五研究所牵头成立了标准编制工作组。工作组由多名从事MEMS器件标准化、研发、生产和检验工作多年，并经过标准化培训，具有相关标准的经验和能力的专业技术人员组成。标准编制工作组制定了国家标准工作计划，并对成员进行了明确分工，收集理了有关的技术资料，包括转化的IEC标准等。标准编制工作组也对行业内有代表性的MEMS器件产品的单位展开了调研。

标准编制工作组依照等同采用国际标准的标准编制要求，对国际标准IEC62047-36：2019《半导体器件微电子机械器件第36部分：MEMS压电薄膜的环境及介电耐受试验方法》进行了翻译和编写，形成了该标准草案。

结合近几年我国MEMS器件的技术水平与发展趋势，标准编制工作组通过反复调查研究，并同MEMS器件领域相关专家进行研讨，按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的有关要求修改完善标准草案，编写形成了标准征求意见稿。

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据

1、编制原则

IEC62047系列标准是针对MEMS领域制定的国际标准，主要包括产品规范、材料微结构检测方法等。本标准是IEC62047《半导体器件微电子机械器件》系列标准中的第36部分，规定了评估MEMS压电薄膜材料在温度、湿度环境应力和电应力下的耐久性测试方法等。目前国内该测试方法标准是空缺的，通过该标准的制定，可以准确评估MEMS压电薄膜材料在温度、湿度和电应力的耐久性，支撑压

电MEMS执行器的设计和制造，对保证产品质量，提高我国产品可靠性和竞争力具有重要意义。同时补充完善MEMS标准体系，为MEMS行业的发展发挥指导作用。

本标准采用翻译法，等同采用IEC62047-36：2019，除编辑性修改外，标准的结构和技术内容与原标准保持一致。同时密切结合我国国情，充分考虑了与其它相关标准的协调性。

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